Allineatore ultrapiatto per una regolazione precisa con elevato rendimento

Il 3D Mask-Aligner MP700-3 è una soluzione innovativa, industriale e scalabile per un allineamento compatto e preciso con un alto throughput. (Immagine: Steinmeyer Gruppe)

Con il 3D Mask-Aligner MP700-3, Steinmeyer Mechatronik offre una soluzione innovativa, industriale e scalabile per il posizionamento nel settore dell'elettronica e anche dell'industria dei semiconduttori. Il sistema parallelo con cuscinetti d'aria e azionamenti diretti funziona completamente senza particelle e senza manutenzione, consentendo la massima precisione in un design ultra-sottile e con alta dinamica.

Il MP700-3 è un allineatore ultra-sottile con un'apertura di 730 x 730 mm per un allineamento e una posizionamento di alta precisione di grandi substrati, maschere, telai, filtri e piastre di stampa in ambienti a bassa contaminazione. Il sistema multiasse dispone di un telaio mobile sostenuto da tre moduli identici, e realizza due movimenti traslazionali di ± 5 mm nel piano e una rotazione intorno alla verticale di ± 3°. Dai singoli movimenti delle tre unità di azionamento deriva, secondo il principio parallelo, il movimento complessivo. Ciò garantisce un'elevata ripetibilità fino a 0,4 µm o ± 0,0002° con carichi fino a 28 kg, oltre a un design ultra-sottile con dimensioni di 990 x 1.090 mm.

Costruzione innovativa

Ogni modulo di azionamento integra cuscinetti d'aria porosi in grafite, un motore lineare altamente dinamico a commutazione elettronica e un sistema di feedback induttivo basato su una modellazione della misura. Grazie ai cuscinetti d'aria, si può raggiungere un'estrema rigidità. Una volta posizionato il capo di misura, l'aria viene rilasciata dai cuscinetti e il sistema viene fissato tramite la sua pre-tensione interna. Gli azionamenti lineari e le corse in sub-micrometri garantiscono il massimo throughput e processi stabili in uno spazio compatto. Tutti i cavi e i tubi per la comunicazione dati, nonché per l'alimentazione di aria ed energia, sono saldamente integrati. Il sistema funziona al 100% senza particelle, è completamente senza manutenzione e offre una durata infinita.

Ampia gamma di possibilità di personalizzazione

Come specialista in soluzioni su misura, Steinmeyer Mechatronik offre una vasta gamma di opzioni. Che si tratti di apertura, supporto campioni o estensione con asse Z, di un controller di movimento integrato o di un collegamento PLC, di un dispositivo stand-alone o di un concetto inline flessibile: le possibilità di adattamento applicativo sono praticamente illimitate. Naturalmente, è possibile anche una configurazione personalizzata con struttura, isolamento dalle vibrazioni e involucro, nonché una progettazione conforme alla classe 1 della norma ISO 14644-1 per ambienti puliti. Tutti i sistemi paralleli vengono forniti completamente montati, dotati del controllo necessario e testati secondo criteri personalizzati dal cliente.

Ampio spettro di applicazioni nell'industria elettronica

Con il 3D Mask-Aligner MP700-3, Steinmeyer Mechatronik supera i limiti tecnologici e offre all'industria elettronica una soluzione innovativa, industriale e scalabile per l'allineamento compatto e preciso con elevato throughput. Le possibilità di applicazione includono la produzione di schede di circuiti stampati, stampanti UV, ispezione di semiconduttori, calibrazione di semiconduttori, allineamento di campioni, analisi, misurazioni trasversali e in luce trasmessa, trasferimenti e produzione elettronica.