Aligner innovant à 5 axes pour l'industrie des semi-conducteurs

Système de positionnement miniature 5DOF XYZ-Φ-Δ pour l'alignement actif et le montage d'optique. (Copyright : Steinmeyer Mechatronik)

Avec le système de positionnement miniature 5DOF XYZ-Phi-Delta, Steinmeyer Mechatronik propose une solution innovante pour des processus d'alignement de haute précision. La combinaison d'un trépied et d'une table croisée XY garantit un niveau élevé de précision, de robustesse ainsi que de fiabilité, tout en séduisant par sa conception compacte et sa grande convivialité. Une solution idéale pour l'alignement optique et actif.

Le système de positionnement miniature 5DOF XYZ-Phi-Delta de l'expert en positionnement de Dresde, Steinmeyer Mechatronik, se compose d'un trépied (MP200-3) et d'une table croisée XY (KDT235) – tous deux avec ouverture de passage de lumière – combinant ainsi les avantages des systèmes cinématiquement parallèles et empilés en un seul produit. Il offre une haute précision sur toute la longueur de course, nécessite peu d'espace, est facile à commander et supporte des millions de cycles dans des conditions industrielles grâce à sa construction robuste. Le bras à 5 axes est un exemple parfait de la forte capacité d'innovation et de la compétence en solutions du groupe Steinmeyer, et s'est avéré être une solution conviviale et économique dans de nombreuses applications d'alignement dans l'industrie des semi-conducteurs.

Précision maximale sur de longues courses

Le système de positionnement mesure 235 mm de long, 235 mm de large et 170 mm de haut. Il réalise des courses en XY de 100 mm, une course de 4 mm ainsi que des inclinaisons en Phi et Delta de 4°, tout en garantissant une répétabilité absolument constante sur tous les degrés de liberté. Les trois axes de précision verticaux du trépied sont reliés par des articulations rigides à la plaque de charge mobile. La plaque de charge peut ainsi être inclinée sur deux axes et ajustée en hauteur. Une vis de guidage à filetage lisse, trempée et usinée par Feinmess Suhl, avec un diamètre de broche de 5 mm et un pas de 0,5 mm, permet des mouvements de positionnement très fins. Les vis à filetage lisse de Feinmess Suhl sont des spécialistes des petits mouvements de positionnement très précis, idéaux pour le positionnement dans un espace réduit. Elles fonctionnent également sans problème dans le vide et en salle blanche grâce à une lubrification spéciale sur une longue période.

Structure de base cartésienne

Pour le mouvement XY, le plateau de passage de lumière compact et robuste KDT235, sur lequel est monté le trépied, assure une précision élevée. Des vis à billes de haute précision et une orthogonalité réglable garantissent une grande précision de positionnement et de séquence. Les vis à billes de précision de la société August Steinmeyer sont équipées d'une noix cylindrique à contact à 4 points et d'une inversion de marche individuelle. La qualité géométrique parfaite et la finition de surface des vis sans jeu, précontraintes, garantissent une synchronisation idéale en application et permettent des micro-mouvements de positionnement très fins.

Une multitude d'options

Que ce soit pour l'alignement optique et actif, les applications à haute résolution en microscopie, l'imagerie 3D, l'interférométrie, les systèmes autofocus ou les tests de semi-conducteurs : le système de positionnement miniature 5DOF XYZ-Phi-Delta est polyvalent dans l'industrie des semi-conducteurs et convient également pour des pièces non symétriques en rotation. Un avantage supplémentaire est la possibilité de définir des points de rotation virtuels à n'importe quel endroit de la surface de la pièce. Cela permet de placer le point de rotation sur la surface optique et d'observer l'objet d'inspection sous différents angles.

Une variété d'options permet une personnalisation maximale. Parmi les accessoires disponibles figurent notamment des tables tournantes, des porte-échantillons, des contrôleurs de mouvement, des boîtiers, ainsi que différentes solutions de sécurité et techniques (arrêt d'urgence, interrupteur de porte, barrière lumineuse, scanner laser, STO, SLS). Des variantes pour salle blanche, UV, DUV, surfaces non réfléchissantes, environnements magnétiques ainsi que le vide sont également réalisables.