Inovativní 5osý aligner pro polovodičový průmysl

5DOF Miniatur-XYZ-Phi-Delta poziční systém pro aktivní vyrovnání a montáž optik. (Copyright: Steinmeyer Mechatronik)

Systém polohování 5DOF Miniatur-XYZ-Phi-Delta nabízí Steinmeyer Mechatronik inovativní řešení pro vysoce přesné vyrovnávací procesy. Kombinace tripodu a XY křížového stolu zajišťuje nejvyšší míru přesnosti, odolnosti a spolehlivosti a zároveň vyniká kompaktní konstrukcí a vysokou uživatelskou přívětivostí. Ideální řešení pro optické a aktivní vyrovnávání.

Systém polohování 5DOF Miniatur-XYZ-Phi-Delta od drážďanského specialisty na polohování Steinmeyer Mechatronik sestává z tripodu (MP200-3) a XY křížového stolu (KDT235) – oba s průhledovou průchodkou – a spojuje výhody paralelní kinetiky a vrstvených systémů v jednom produktu. Je vysoce přesný po celé dráze pohybu, vyžaduje jen málo prostoru, je snadno ovladatelný a díky robustní konstrukci vydrží miliony cyklů v průmyslových podmínkách. 5-ose Aligner je ukázkovým příkladem vysoké inovační síly a řešeníové kompetence skupiny Steinmeyer a úspěšně se osvědčil v řadě aplikací vyrovnávání v polovodičovém průmyslu jako uživatelsky přívětivé a ekonomické řešení.

Nejvyšší přesnost při velkých dráhách pohybu

Systém polohování má délku 235 mm, šířku 235 mm a výšku 170 mm. Realizuje dráhy v XY o délce 100 mm, zdvih 4 mm a naklonění v Phi a Delta o 4° a vyniká absolutní stálostí opakovatelnosti ve všech stupních volnosti. Tři vertikálně působící přesné osy tripodu jsou spojeny pevným kloubem s pohyblitou nosnou deskou. Tím lze naklonit nosnou desku ve dvou osách a také ji výškově posunout. Tvrdý a broušený kluzný šroub Feinmess Suhl s průměrem 5 mm a závitem s krokem 0,5 mm umožňuje jemné nastavovací pohyby. Kluzné šrouby Feinmess Suhl jsou specialisté na malé, vysoce přesné nastavovací pohyby a jsou proto ideální pro polohování v malém prostoru. Fungují bez problémů i v prostředí vakua a čistých prostor s dlouhodobým speciálním mazáním.

Kartezský základní rámec

Pro XY pohyb slouží kompaktní a odolný průhledový skenovací stůl KDT235, na kterém je umístěn tripod. Vysoce přesné kuličkové šrouby a nastavitelné kolmosti zajišťují vysoce přesné polohovací a sekvenční přesnosti. Přesné kuličkové šrouby firmy August Steinmeyer jsou vybaveny válcovou samostatnou maticí s kontaktem ve čtyřech bodech a s přepínáním jednotlivých závitů. Perfektní geometrická kvalita a povrchová úprava bez vůle přednapjatých závitových šroubů zaručují ideální synchronizaci v aplikaci a umožňují nejmenší nastavovací kroky.

Široká škála možností

Ať už optické a aktivní vyrovnávání, vysoce rozlišené aplikace v mikroskopii, 3D zobrazování, interferometrie, autofokusa nebo testování polovodičů: systém polohování 5DOF Miniatur-XYZ-Phi-Delta je v polovodičovém průmyslu široce využitelný a je vhodný i pro ne rotačně symetrické díly. Výhodou jsou také virtuální otáčecí body, které lze umístit na libovolné místo na povrchu součástky. Díky tomu lze otáčecí bod umístit do optické funkční plochy a objekt inspekce sledovat z různých úhlů.

Široká škála možností umožňuje maximální individualizaci. Jako doplňková výbava jsou k dispozici například otočné stoly, držáky vzorků, řídicí jednotky pohybu, kryty a různé bezpečnostní koncepty a techniky (nouzové vypnutí, dveřní spínače, světelné zábrany, laserové skenery, STO, SLS). Možné jsou také varianty pro čisté prostory, UV, DUV, neodrážející povrchy, magnetické prostředí či vakuum.