Innovatív 5-tengelyes illesztő a félvezetőipar számára

5DOF Miniatür-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem a aktív irányításhoz és optikák szereléséhez. (Szerzői jog: Steinmeyer Mechatronik)

Az 5DOF Miniatűr XYZ-Φ-Delta pozícionáló rendszerrel a Steinmeyer Mechatronik innovatív megoldást kínál a magas precizitású igazítási folyamatokhoz. A tripod és az XY keresztasztal kombinációja a legmagasabb precizitást, robusztusságot és megbízhatóságot garantálja, miközben kompakt kialakításával és felhasználóbarát kialakításával lenyűgöz. Ideális megoldás optikai és aktív igazításokra.

A Dresdner pozícionálási szakértő Steinmeyer Mechatronik 5DOF Miniatűr XYZ-Φ-Delta pozícionáló rendszere egy Tripodból (MP200-3) és egy XY keresztasztalból (KDT235) áll – mindkettő átfogó nyílással –, így egyesíti a párhuzamos kinetika és a halmozott rendszerek előnyeit egy termékben. Magas precizitással működik az egész utazási tartományban, kevés helyet foglal, egyszerű vezérelni, és robusztus felépítésének köszönhetően millió ciklusokat bír ipari körülmények között. A 5-tengelyes alinger egy példája a Steinmeyer csoport magas innovációs képességének és megoldáskompetenciájának, és számos félvezetőipari igazítási alkalmazásban sikeresen bizonyította felhasználóbarát, gazdaságos megoldásként.

Legmagasabb precizitás nagy utazási tartományok mellett

A pozícionáló rendszer 235 mm hosszú, 235 mm széles és 170 mm magas. XY irányban 100 mm-es utazási tartományt, 4 mm-es emelést, valamint 4°-os dőlés lehetőséget biztosít Φ és Delta irányban, és minden szabadsági fokon abszolút állandó ismétlési pontossággal működik. A tripod három függőleges irányban ható precíziós tengelyét merev test ízületek kötik össze a mozgó teherlappal. Így a teherlap két tengely mentén dönthető és magasságban is állítható. Egy szilárdított és csiszolt csúszómenetes hajtás, amelyet a Feinmess Suhl gyárt, 5 mm-es tengelyátmérővel és 0,5 mm-es menetlépéssel, lehetővé teszi finom állítómozgásokat. A Feinmess Suhl csúszómenetes hajtásai kifejezetten kis, magas precizitású pozícionálási mozgásokhoz készültek, így ideálisak kis helyeken történő pozícionáláshoz. Vákum- és tisztatéri környezetben is hosszú távon zavartalan működést biztosítanak különleges kenéssel.

Karteszius alapkeret

A XY mozgásért a kompakt és robusztus kialakítású átfogó átfogó Scantisch KDT235 felel, amelyre a tripod fel van szerelve. Magas precizitású golyósorsók és állítható ortogonalitás biztosítják a rendkívül pontos pozícionálási és folyamatpontosságokat. August Steinmeyer cég precíziós golyósorsói 4-pontos érintkezésű, egyéni menetű anya és egyedi áttételű rendszerrel vannak felszerelve. A tökéletes geometriai minőség és a felületi simaság garantálja az ideális egyenletes mozgást a felhasználás során, és lehetővé teszi a legkisebb beállítási lépéseket.

Számos opció

Akár optikai és aktív igazítás, magas felbontású alkalmazások mikroszkópiában, 3D képalkotás, interferometria, autofókusz rendszerek vagy félvezető tesztek: az 5DOF Miniatűr XYZ-Φ-Delta pozícionáló rendszer sokoldalúan alkalmazható a félvezetőiparban, és alkalmas nem forgásszimmetrikus alkatrészekhez is. Előnyös a virtuális forgáspontok lehetősége, amelyek bármilyen helyen elhelyezhetők a munkadarab felületén. Ez lehetővé teszi a forgáspont elhelyezését az optikai funkciós felületen, és az objektum különböző szögekből való vizsgálatát.

Számos opció teszi lehetővé a maximális egyedivé tételt. Kiegészítőként elérhetők forgótárcsák, mintatartók, mozgásvezérlők, burkolatok, valamint különböző biztonsági megoldások és technológiák (STOP gomb, ajtókapcsoló, fényfüggöny, lézerszkenner, STO, SLS). Valamint megvalósíthatók változatok tisztatérbe, UV, DUV, nem tükröződő felületek, mágneses környezetek és vákuum esetén is.