Allineatore innovativo a 5 assi per l'industria dei semiconduttori

Sistema di posizionamento Miniaturizzato 5DOF XYZ-Phi-Delta per l'allineamento attivo e il montaggio di ottiche. (Copyright: Steinmeyer Mechatronik)

Con il sistema di posizionamento Miniatur-XYZ-Phi-Delta a 5DOF, Steinmeyer Mechatronik offre una soluzione innovativa per processi di allineamento di alta precisione. La combinazione di treppiede e tavolo incrociato XY garantisce un livello massimo di precisione, robustezza e affidabilità, e allo stesso tempo si distingue per la sua struttura compatta e facilità d'uso. Una soluzione ideale per l'allineamento ottico e attivo.

Il sistema di posizionamento Miniatur-XYZ-Phi-Delta a 5DOF di Steinmeyer Mechatronik, specialista in posizionamento di Dresda, è composto da un treppiede (MP200-3) e da un tavolo incrociato XY (KDT235) – entrambi con apertura per attraversamento – e combina i vantaggi di sistemi a cinematica parallela e impilati in un unico prodotto. È altamente preciso lungo tutto il percorso di movimento, richiede poco spazio, è facilmente controllabile e, grazie alla sua struttura robusta, può operare milioni di cicli in condizioni industriali. Il braccio a 5 assi è un esempio di alta capacità innovativa e competenza di soluzione del gruppo Steinmeyer, e si è dimostrato con successo in numerose applicazioni di allineamento nell'industria dei semiconduttori come soluzione user-friendly ed economica.

Massima precisione su grandi percorsi di movimento

Il sistema di posizionamento è lungo 235 mm, largo 235 mm e alto 170 mm. Realizza percorsi di movimento in XY di 100 mm, un sollevamento di 4 mm e inclinazioni in Phi e Delta di 4°, e si distingue per una ripetibilità assolutamente costante su tutti i gradi di libertà. I tre assi di precisione verticali del treppiede sono collegati tramite articolazioni rigide con la piastra di carico mobile. In questo modo, la piastra di carico può inclinarsi su due assi e anche regolare in altezza. Un sistema di vite a ricircolo di sfere, temprato e lucidato, di Feinmess Suhl, con un diametro di 5 mm e passo di 0,5 mm, permette movimenti di regolazione estremamente precisi. Le viti a ricircolo di sfere di Feinmess Suhl sono specializzate in piccoli movimenti di regolazione ad alta precisione e sono quindi ideali per il posizionamento in spazi ristretti. Funzionano senza problemi anche in vuoto e ambienti puliti grazie a lubrificazioni speciali, anche dopo lungo tempo.

Struttura di base cartesiana

Per il movimento XY, il tavolo di scansione a attraversamento compatto e robusto KDT235, su cui è montato il treppiede, garantisce alta precisione di posizionamento e di sequenza grazie a viti a ricircolo di sfere di alta precisione e a una ortogonalità regolabile. Le viti a ricircolo di sfere di alta precisione della ditta August Steinmeyer sono dotate di una singola madrevite cilindrica con contatto a 4 punti e di una inversione di passo singolo. La qualità geometrica perfetta e la finitura superficiale delle viti a ricircolo di sfere pre-tensionate garantiscono un movimento uniforme ottimale e consentono di ottenere i più piccoli incrementi di regolazione.

Ampia gamma di opzioni

Sia per l'allineamento ottico e attivo, applicazioni ad alta risoluzione in microscopia, imaging 3D, interferometria, sistemi di autofocus o test di semiconduttori: il sistema di posizionamento Miniatur-XYZ-Phi-Delta a 5DOF è estremamente versatile nell'industria dei semiconduttori ed è adatto anche per parti non rotazionalmente simmetriche. Vantaggioso sono anche i punti di rotazione virtuali, che possono essere posizionati ovunque sulla superficie del pezzo. In questo modo, il punto di rotazione può essere collocato sulla superficie funzionale ottica e l'oggetto da ispezionare può essere osservato da diverse angolazioni.

Una vasta gamma di opzioni consente la massima personalizzazione. Come accessori sono disponibili, tra l'altro, tavoli rotanti, supporti per campioni, controller di movimento, custodie e diverse soluzioni di sicurezza e tecnologie (arresto di emergenza, interruttori a pulsante, barriere luminose, scanner laser, STO, SLS). Sono inoltre realizzabili varianti per ambienti di sala bianca, UV, DUV, superfici non riflettenti, ambienti magnetici e vuoto.