Alineador innovador de 5 ejes para la industria de semiconductores

Sistema de posicionamiento miniaturizado 5DOF XYZ-Phi-Delta para alineación activa y montaje de ópticas. (Derechos de autor: Steinmeyer Mechatronik)

Con el sistema de posicionamiento miniaturizado 5DOF XYZ-Phi-Delta, Steinmeyer Mechatronik ofrece una solución innovadora para procesos de alineación de alta precisión. La combinación de trípode y mesa cruzada XY garantiza un máximo nivel de precisión, robustez y fiabilidad, y al mismo tiempo destaca por su diseño compacto y facilidad de uso. Una solución ideal para alineaciones ópticas y activas.

El sistema de posicionamiento miniaturizado 5DOF XYZ-Phi-Delta de Steinmeyer Mechatronik, especialista en posicionamiento de Dresde, está compuesto por un trípode (MP200-3) y una mesa cruzada XY (KDT235), ambos con apertura de paso de luz, combinando así las ventajas de sistemas de cinemática paralela y apilada en un solo producto. Es altamente preciso a lo largo de toda la carrera, requiere poco espacio, es fácil de controlar y, gracias a su estructura robusta, puede soportar millones de ciclos en condiciones industriales. El alineador de 5 ejes es un ejemplo destacado de la alta capacidad de innovación y competencia en soluciones del grupo Steinmeyer, y ha demostrado ser una solución fácil de usar y rentable en numerosas aplicaciones de alineación en la industria de semiconductores.

Máxima precisión en recorridos largos

El sistema de posicionamiento tiene unas dimensiones de 235 mm de largo, 235 mm de ancho y 170 mm de alto. Realiza recorridos en XY de 100 mm, un desplazamiento de 4 mm y inclinaciones en Phi y Delta de 4°, destacando por una precisión de repetición absolutamente constante en todos los grados de libertad. Los tres ejes de precisión que actúan verticalmente en el trípode están conectados mediante articulaciones de cuerpo sólido con la placa de carga móvil. De este modo, la placa de carga puede inclinarse en dos ejes y también ajustarse en altura. Un husillo de rosca lisa, templado y pulido, de Feinmess Suhl, con un diámetro de husillo de 5 mm y un paso de rosca de 0,5 mm, permite movimientos de ajuste finos. Los husillos de rosca lisa de Feinmess Suhl son especialistas en pequeños movimientos de ajuste de alta precisión, por lo que son ideales para posicionamiento en espacios reducidos. También funcionan sin problemas en vacío y en salas limpias, gracias a su lubricación especial, durante largos periodos.

Marco base cartesiano

Para el movimiento en XY, el sistema cuenta con la mesa de escaneo con paso de luz KDT235, compacta y robusta, sobre la cual se monta el trípode. La precisión de posicionamiento y repetición se garantiza mediante husillos de bolas de alta precisión y una ortogonalidad ajustable. Los husillos de bolas de precisión de la empresa August Steinmeyer están equipados con una tuerca cilíndrica de contacto de 4 puntos y un cambio de marcha individual. La calidad geométrica perfecta y la superficie de los husillos, libres de juego y con precarga, garantizan un movimiento sincronizado ideal en la aplicación y permiten realizar ajustes extremadamente finos.

Amplia variedad de opciones

Ya sea alineación óptica y activa, aplicaciones de alta resolución en microscopía, imagen 3D, interferometría, sistemas de autofocus o pruebas de semiconductores: el sistema de posicionamiento miniaturizado 5DOF XYZ-Phi-Delta es versátil en la industria de semiconductores y también adecuado para piezas no simétricas en rotación. Además, se benefician de los puntos de rotación virtuales, que pueden colocarse en cualquier parte de la superficie de la pieza de trabajo. Esto permite colocar el punto de rotación en la superficie funcional óptica y observar el objeto desde diferentes ángulos.

Una gran variedad de opciones permite una personalización máxima. Como accesorios, se ofrecen mesas giratorias, soportes para muestras, controladores de movimiento, carcasas y diferentes conceptos y tecnologías de seguridad (parada de emergencia, interruptor de puerta, cortina de luz, escáner láser, STO, SLS). También es posible realizar variantes para entornos de sala limpia, UV, DUV, superficies no reflectantes, entornos magnéticos y vacío.