Innovatieve 5-assige uitlijner voor de halfgeleiderindustrie

5DOF Miniatuur-XYZ-Phi-Delta Positioneringsysteem voor de actieve uitlijning en montage van optieken. (Copyright: Steinmeyer Mechatronik)

Met het 5DOF Miniatuur-XYZ-Phi-Delta Positioneringsysteem biedt Steinmeyer Mechatronik een innovatieve oplossing voor hoogprecisie uitlijningsprocessen. De combinatie van tripod en XY-kruistafel garandeert een maximale precisie, robuustheid en betrouwbaarheid en onderscheidt zich tegelijkertijd door compacte bouwvorm en gebruiksvriendelijkheid. Een ideale oplossing voor optische en actieve uitlijning.

Het 5DOF Miniatuur-XYZ-Phi-Delta positioneringsysteem van de Dresdner positioneringsspecialist Steinmeyer Mechatronik bestaat uit een tripod (MP200-3) en een XY-kruistafel (KDT235) – beiden met doorlichtopening – en combineert daarmee de voordelen van parallelkinematische en gestapelde systemen in één product. Het is hoogprecies over de gehele verplaatsingsbaan, vereist weinig ruimte, is eenvoudig aan te sturen en kan dankzij zijn robuuste opbouw miljoenen cycli onder industriële omstandigheden doorstaan. De 5-assige aligner is een schoolvoorbeeld van de hoge innovativiteit en oplossingscompetentie van de Steinmeyer-groep en heeft zich in talrijke uitlijningsapplicaties in de halfgeleiderindustrie succesvol bewezen als gebruiksvriendelijke, kosteneffectieve oplossing.

Hoogste precisie bij grote verplaatsingsafstanden

Het positioneringssysteem is 235 mm lang, 235 mm breed en 170 mm hoog. Het realiseert verplaatsingswegen in XY van 100 mm, een hef van 4 mm en kantelingen in Phi en Delta van 4° en scoort met een absoluut constante herhaalnauwkeurigheid over alle vrijheidsgraden. De drie verticaal werkende precisieassen van de tripod zijn via vaste gewrichtsverbindingen verbonden met de beweegbare lastplaat. Hierdoor kan de lastplaat in twee assen gekanteld worden en ook in hoogte versteld worden. Een gehard en geslepen glijspindel van Feinmess Suhl met een spindeldiameter van 5 mm en een draadspoed van 0,5 mm maakt fijne instelbewegingen mogelijk. De glijspindels van Feinmess Suhl zijn specialisten in kleine, hoogprecisie positioneringsbewegingen en daarom ideaal voor positionering in kleine bouwruimtes. Ook in vacuüm en cleanroom werken ze met speciale smering langdurig storingsvrij.

Cartesiaans basisframe

Voor de XY-beweging zorgt de compacte en robuuste doorlicht-scantafel KDT235, waarop de tripod geplaatst is. Hoogprecisie kogellagers en een instelbare orthogonaliteit garanderen uiterst nauwkeurige positionerings- en procesnauwkeurigheden. De precisie-kogellagerspindels van August Steinmeyer zijn uitgerust met een enkele cilindermoer met 4-punts contact en een enkele gangomleiding. De perfecte geometrische kwaliteit en oppervlakteruwheid van de spindels met spelingvrije voorbelasting garanderen een ideaal gelijke loop in de toepassing en maken kleinste stelinkremente mogelijk.

Veel opties

Of het nu gaat om optische en actieve uitlijning, hoogresolutie toepassingen in de microscopie, 3D-beelden, interferometrie, autofocus-systemen of halfgeleider testen: het 5DOF Miniatuur-XYZ-Phi-Delta positioneringsysteem is veelzijdig inzetbaar in de halfgeleiderindustrie en geschikt voor ook niet-rotatiesymmetrische onderdelen. Voordeel is ook dat virtuele draaipunten op elke willekeurige plek op het werkstukoppervlak geplaatst kunnen worden. Zo kan het draaipunt in de optische functievlak gelegd worden en kan het inspectieobject vanuit verschillende hoeken bekeken worden.

Een breed scala aan opties biedt maximale individualiteit. Als extra uitrusting zijn onder andere draaibanken, proefhouder, motion controller, behuizingen en verschillende veiligheidsconcepten en -technieken (noodstop, deurschakelaar, lichtgordijn, laserscanner, STO, SLS) beschikbaar. Ook varianten voor cleanroom, UV, DUV, niet-reflecterende oppervlakken, magnetische omgevingen en vacuüm zijn mogelijk.