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Vaisala C-Tec Hydroflex MT-Messtechnik



Der neue SensoTech-Sensor ermöglicht die kontinuierliche Inline-Überwachung chemischer Konzentrationen in Halbleiter-Nassprozessen. (Bild: SensoTech GmbH) Der Controller visualisiert die inline gemessenen Konzentrationen von beispielsweise TMAH und H₂O₂ sowie die Prozesstemperatur, in Echtzeit. (Bild: SensoTech GmbH) Der Controller visualisiert die inline gemessenen Konzentrationen von beispielsweise TMAH und H₂O₂ sowie die Prozesstemperatur, in Echtzeit. (Bild: SensoTech GmbH)
  • Elektronik (Wafer, Halbleiter, Mikrochips,...)

Konzentrationen in Prozessen wie SC1, SC2 und BOE inline messen

Neuer Ultraschallsensor von SensoTech für Halbleiter-Nassprozesse

Neue Sensortechnologie misst kritische Chemien direkt im laufenden Prozess und unterstützt Halbleiterhersteller dabei, Prozessabweichungen früher zu erkennen, (Labor-)Aufwand zu reduzieren und Nassprozesse stabiler zu fahren.

In der Halbleiterfertigung entscheiden zuverlässige, kontrollierte Nassproz…

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