Mikrooptische rendszerek az intelligens irányításhoz

A fotolitográfia folyamata teljesen pormentesen kell, hogy történjen. A legmodernebb tisztatér-technológia mellett speciális ruházat és bútorok biztosítják a szennyeződésmentes folyamatot. A munkatársak személyzeti átjárón keresztül lépnek be és hagyják el a tisztatérhelyiséget, amely egyben öltözőként is szolgál.

A 100 m²-es, ISO osztály 6-os tisztatérben, a CleanCell©-ben, mikrooptikai alkatrészekhez szilíciumlapokat fejlesztenek és tesztelnek. Az ablakokat és a világítást sárga fényű fóliákkal látják el, mivel a érzékeny lakkokat nem szabad UV-fénynek kitenni.

Az elektronikus eszközök és adatátviteli rendszerek intelligens vezérlése hihetetlen gyorsasággal fejlődik. Egyre kisebb és precízebb érzékelők fejlesztése nyit lehetőségeket, amelyek néhány évvel ezelőtt utópisztikusnak tűntek. Ezen fejlődési lépéseket a precíziós tisztatértechnológia alkalmazása tette lehetővé, amely még a legkisebb szennyeződésektől is védi az érzékeny termékeket.

A Heptagon Advanced Micro Optics vállalat a mikrooptikai rendszerek forradalmi fejlesztéseivel a világ egyik leginnovatívabb cégei közé tartozik. Például a Heptagon által kifejlesztett fény- és mozgásérzékelőket intelligens vezérlésre használják okostelefonokban. Nemzetközi vállalatként Zürichben található kutatás-fejlesztési központot működtet. Ott a Heptagon most további 100 m² tisztatérrel, legkorszerű technológiával szerelte fel a legújabb wafer-technológiai folyamatokat.

A használt rendkívül precíz wafertechnológia már a legkisebb szennyeződések esetén is jelentős zavarokat okozhat a feldolgozás során. Ezért ezeket az érzékeny komponenseket kizárólag tisztaterekben gyártják, amelyek speciális légáramlási és szűrőrendszerek segítségével még a legkisebb lebegő részecskéket is eltávolítják a környezeti levegőből. A fejlesztési folyamat a Photolithográfiához igazított CleanCell© tisztatér-rendszerben történik, amely az ISO 6 tisztatér osztályú levegőminőséget biztosít. A beépített klímatechnika állandó hőmérsékletet és páratartalmat tart fenn a folyamat követelményei szerint.

A technikailag összetett berendezés kivitelezését a tisztatértechnológiára szakosodott SCHILLING ENGINEERING GmbH végezte el.

Az integrált légkeringető és visszafúvó rendszer a tisztatér falain belül precíz tisztatérszűrést biztosít a turbulens keverő légáramlás elvének alkalmazásával. Ez az innovatív légtechnika, amely energetikailag nagyon hatékony, valamint az ultra-magasan teljesítő szűrők alkalmazása döntő okok voltak Heptagon számára, hogy a dél-német céget válassza.

A svájci kutatók elégedettek az innovatív CR Control® tisztatér-ellenőrző rendszer telepítésével is. Ez kapcsolatot teremt a csatlakoztatott érzékelőkkel, amelyek nyomást, páratartalmat és hőmérsékletet mérnek, a szűrőmodulokkal, klímás szekrényekkel, ajtó- és világítási funkciókkal, valamint más komponensekkel. Minden fontos funkciót felügyel és rögzít, továbbá egy központi érintőképernyőn át áttekinthetően megjeleníti, és onnan egyenként vezérelhető és szabályozható.

A tisztatér-rendszert szoros együttműködésben, kifejezetten a kutatás-fejlesztési helyszín igényeihez igazítva tervezték. A tisztatér, beleértve a tervezést, az építést és a minősítést mindössze 3 hónap alatt valósult meg, és üzembe helyezésre került.