Sistemas microópticos para control inteligente

El proceso de fotolitografía debe realizarse en un entorno completamente libre de polvo. Además de la tecnología de sala limpia de última generación, la ropa y los muebles especiales también garantizan un proceso sin contaminación. Los empleados entran y salen de la sala limpia a través de una esclusa que también se utiliza como vestuario.

En la sala limpia CleanCell® de 100 m² de tamaño, de clase ISO 6, se desarrollan y prueban obleas para componentes microópticos. Las ventanas y la iluminación están equipadas con láminas de luz amarilla, ya que los lacas sensibles no deben exponerse a la luz ultravioleta.

El control inteligente de dispositivos electrónicos y transferencias de datos avanza a un ritmo vertiginoso. El desarrollo de sensores cada vez más pequeños y precisos crea posibilidades que hace unos años parecían utópicas. Estos avances han sido posibles gracias al uso de tecnología de salas limpias de alta precisión, que protege los productos sensibles incluso de las partículas más pequeñas de contaminación.

La empresa Heptagon Advanced Micro Optics se encuentra entre las compañías más innovadoras del mundo, con desarrollos revolucionarios en sistemas micro ópticos. Por ejemplo, sensores de luz y movimiento desarrollados por Heptagon se utilizan para el control inteligente en teléfonos inteligentes. En su sede en Zúrich, la empresa internacional ha establecido el centro de investigación y desarrollo. Allí, Heptagon ha instalado ahora otros 100 m² de salas limpias con tecnología de vanguardia para los procesos más recientes en tecnología de obleas.

La tecnología de obleas de alta precisión utilizada puede ser significativamente afectada por las más pequeñas partículas de contaminación durante el procesamiento. Por ello, la producción de estos componentes sensibles se realiza exclusivamente en salas limpias que, mediante sistemas especiales de circulación de aire y filtros, eliminan incluso las partículas en suspensión más pequeñas del aire ambiente. El proceso de desarrollo se realiza en un sistema de sala limpia adaptado a los requisitos de la fotolitografía, el sistema CleanCell©, que cumple con la calidad de aire de sala limpia de la clase ISO 6. La tecnología de climatización integrada garantiza temperaturas y humedad constantes, necesarias para el proceso.

Para la realización de esta instalación técnicamente compleja, se encargó a la empresa especializada en tecnología de salas limpias SCHILLING ENGINEERING GmbH.

Un sistema de circulación de aire y retorno de aire completamente integrado en las paredes de la sala limpia asegura una limpieza precisa según el principio de mezcla turbulenta. Esta innovadora tecnología de circulación de aire, que es muy eficiente energéticamente, junto con el uso de filtros de ultra alta eficiencia, fueron razones decisivas para que Heptagon eligiera a la empresa del sur de Alemania.

Los investigadores suizos también están satisfechos con la instalación del sistema de control de salas limpias CR Control®. Este sistema conecta los sensores que miden presión, humedad y temperatura, con módulos de filtros, armarios de climatización, funciones de puertas y luces, y otros componentes. Todas las funciones importantes son monitoreadas y registradas, además de mostrarse claramente en una pantalla táctil central, desde donde pueden ser controladas y reguladas individualmente.

El sistema de sala limpia fue adaptado en estrecha colaboración para satisfacer específicamente las necesidades del centro de investigación y desarrollo. La sala limpia fue implementada, incluyendo planificación, construcción y calificación, en un período de solo 3 meses, y entregada lista para operar.