Mikrooptische Systeme für intelligente Steuerung

Proces fotolitografii musi przebiegać w absolutnej czystości od pyłu. Oprócz nowoczesnej technologii czystych pomieszczeń, specjalne ubrania i meble zapewniają brak zanieczyszczeń. Pracownicy wchodzą i wychodzą z czystego pomieszczenia przez kabinę osobową, która służy również jako przebieralnia.

W czystym pomieszczeniu o powierzchni 100 m², CleanCell© klasy ISO 6, opracowywane i testowane są wafle do mikrooptycznych komponentów. Okna i oświetlenie są wyposażone w żółte folie świetlne, ponieważ wrażliwe lakiery nie mogą być wystawione na działanie światła UV.

Inteligentne sterowanie urządzeniami elektronicznymi i transferem danych postępuje w zawrotnym tempie. Rozwój coraz mniejszych i bardziej precyzyjnych czujników tworzy możliwości, które jeszcze kilka lat temu wydawały się utopią. Te kroki rozwoju zostały umożliwione dzięki zastosowaniu precyzyjnej technologii czystego pomieszczenia, która chroni delikatne produkty nawet przed najmniejszymi zanieczyszczeniami.

Firma Heptagon Advanced Micro Optics należy do najbardziej innowacyjnych firm na świecie, specjalizujących się w rewolucyjnych rozwiązaniach mikrooptycznych systemów. Na przykład czujniki światła i ruchu opracowane przez Heptagon są wykorzystywane do inteligentnego sterowania w smartfonach. Siedziba międzynarodowej firmy w Zurychu mieści centrum badawczo-rozwojowe. Tam Heptagon zainstalował obecnie kolejne 100 m² czystego pomieszczenia z najnowszą technologią do najnowszych procesów technologii wafli.

Stosowana wysoce precyzyjna technologia wafli może być znacznie zakłócona nawet przez najmniejsze zanieczyszczenia podczas procesu produkcji. Produkcja tych delikatnych komponentów odbywa się wyłącznie w czystych pomieszczeniach, które dzięki specjalnym systemom wentylacji i filtracji usuwają z powietrza nawet najmniejsze cząsteczki unoszące się w powietrzu. Proces rozwoju odbywa się w systemie czystego pomieszczenia dostosowanym do wymagań fotolitografii, systemie CleanCell©, który zapewnia jakość powietrza klasy ISO 6. Zintegrowana technika klimatyzacji zapewnia stałe temperatury i wilgotność, niezbędne w procesie.

Firma SCHILLING ENGINEERING GmbH, specjalizująca się w technice czystych pomieszczeń, została zatrudniona do realizacji tego zaawansowanego technologicznie systemu.

W pełni zintegrowany system recyrkulacji powietrza i odzysku powietrza w ścianach czystego pomieszczenia zapewnia precyzyjne oczyszczanie powietrza zgodnie z zasadą turbulencyjnego mieszania. Ta innowacyjna technika recyrkulacji, która jest bardzo energooszczędna, jak również zastosowanie ultrawydajnych filtrów, były kluczowymi powodami, dla których Heptagon zdecydował się na współpracę z firmą z południowych Niemiec.

Szwajcarscy naukowcy są również zadowoleni z instalacji innowacyjnego systemu kontroli czystego pomieszczenia CR Control®. Umożliwia on połączenia z czujnikami, które mierzą ciśnienie, wilgotność i temperaturę, z modułami filtrów, szafami klimatyzacyjnymi, funkcjami drzwi i oświetlenia oraz innymi komponentami. Wszystkie kluczowe funkcje są monitorowane i rejestrowane, a także wyświetlane na centralnym ekranie dotykowym w przejrzysty sposób, z którego można je indywidualnie sterować i regulować.

System czystego pomieszczenia został dostosowany w ścisłej współpracy, specjalnie do potrzeb lokalizacji badawczo-rozwojowej. Czyszczenie, montaż i kwalifikacja tego pomieszczenia zostały zrealizowane w ciągu zaledwie 3 miesięcy i przekazane do użytku.