Mikrooptische Systeme für intelligente Steuerung

Het proces van fotolithografie moet absoluut stofvrij verlopen. Naast de geavanceerde cleanroomtechnologie zorgen ook speciale kleding en meubels voor een contaminatievrije gang van zaken. De medewerkers betreden en verlaten de cleanroom via een personenwasruimte, die ook als kleedruimte wordt gebruikt.

In de 100 m² grote CleanRoom ReinCell© van ISO-klasse 6 worden wafers ontwikkeld en getest voor microoptische componenten. Ramen en verlichting worden voorzien van geellichtfolies, omdat de gevoelige lakken niet aan UV-licht mogen worden blootgesteld.

De intelligente bediening van elektronische apparaten en datatransfers vordert in een verbluffende snelheid. De ontwikkeling van steeds kleinere en preciezere sensoren creëert mogelijkheden die nog enkele jaren geleden utopisch leken. Deze ontwikkelingsstappen werden mogelijk gemaakt door het gebruik van precieze cleanroomtechnologie, die de gevoelige producten zelfs beschermt tegen de kleinste verontreinigingen.

Het bedrijf Heptagon Advanced Micro Optics behoort met revolutionaire ontwikkelingen van microoptische systemen tot de meest innovatieve bedrijven ter wereld. Zo worden bijvoorbeeld door Heptagon ontwikkelde licht- en bewegingssensoren ingezet voor intelligente bediening bij smartphones. Op haar locatie in Zürich heeft het internationale bedrijf het onderzoeks- en ontwikkelingscentrum gevestigd. Daar heeft Heptagon nu nog eens 100 m² cleanroom met de nieuwste technologie voor de nieuwste wafer-technologieën geïnstalleerd.

De gebruikte hoogprecisie wafertechnologie kan al door kleinste verontreinigingen tijdens de procesverwerking aanzienlijk worden verstoord. De productie van deze gevoelige componenten vindt daarom uitsluitend plaats in cleanrooms die via speciale luchtgeleiding en filtersystemen ook de kleinste zwevende deeltjes uit de omgevingslucht verwijderen. Het ontwikkelproces gebeurt in een op de eisen van de fotolithografie afgestemd cleanroomsysteem CleanCell©, dat een cleanroomluchtkwaliteit van klasse ISO 6 heeft. De geïntegreerde klimaatbeheersing zorgt voor de tijdens het proces vereiste constante temperaturen en vochtigheid.

Voor de realisatie van de technisch veeleisende installatie is het bedrijf SCHILLING ENGINEERING GmbH ingeschakeld, dat gespecialiseerd is in cleanroomtechniek.

Een volledig geïntegreerde recirculatie- en afvoerleiding in de cleanroomwanden zorgt voor een nauwkeurige cleanroomventilatie volgens het principe van turbulente menglucht. Deze innovatieve recirculatietechniek, die zeer energie-efficiënt is, evenals het gebruik van ultra-hoge prestatiefilters, waren voor Heptagon doorslaggevende redenen om voor het Zuid-Duitse bedrijf te kiezen.

De Zwitserse onderzoekers zijn ook tevreden over de installatie van het innovatieve cleanroom-controlesysteem CR Control©. Het legt verbindingen met de aangesloten sensoren die druk, vocht en temperatuur meten, met filtermodules, klimaatkasten, deur- en lichtfuncties en andere componenten. Alle belangrijke functies worden bewaakt en geregistreerd, bovendien worden ze overzichtelijk weergegeven op een centrale touchscreen en kunnen van daaruit afzonderlijk worden bediend en geregeld.

Het cleanroomsysteem is in nauwe samenwerking specifiek afgestemd op de behoeften van de onderzoeks- en ontwikkelingslocatie. De cleanroom is inclusief planning, opbouw en kwalificatie in slechts 3 maanden gerealiseerd en operationeel opgeleverd.