Sistemi microottici per il controllo intelligente

Il processo di fotolitografia deve essere eseguito in assenza assoluta di polvere. Oltre alla tecnologia di sala pulita all'avanguardia, anche abbigliamento e mobili speciali garantiscono un procedimento senza contaminazioni. I dipendenti entrano e escono dalla camera bianca attraverso una cabina di decontaminazione, che viene anche utilizzata come spogliatoio.

Nell'ambiente sterile di 100 mq, CleanCell© di classe ISO 6, vengono sviluppati e testati wafer per componenti microottici. Le finestre e l'illuminazione sono dotate di pellicole gialle, poiché le vernici sensibili non devono essere esposte alla luce UV.

Il controllo intelligente dei dispositivi elettronici e dei trasferimenti di dati avanza a passi da gigante. Lo sviluppo di sensori sempre più piccoli e precisi crea possibilità che fino a pochi anni fa sembravano utopiche. Questi progressi sono stati resi possibili dall'impiego di tecnologie di camere bianche di alta precisione, che proteggono i prodotti sensibili anche dalle più piccole impurità.

La ditta Heptagon Advanced Micro Optics è tra le aziende più innovative al mondo grazie a sviluppi rivoluzionari di sistemi microottici. Ad esempio, sensori di luce e di movimento sviluppati da Heptagon vengono utilizzati per il controllo intelligente negli smartphone. La sede di Zurigo ospita il centro di ricerca e sviluppo dell'azienda internazionale. Qui, Heptagon ha installato altri 100 mq di camere bianche con tecnologia all'avanguardia per i processi più recenti della tecnologia dei wafer.

La tecnologia di wafer ad alta precisione impiegata può essere disturbata significativamente anche da impurità minime durante il processo di lavorazione. La produzione di questi componenti sensibili avviene quindi esclusivamente in camere bianche dotate di sistemi di aerazione e filtri speciali, che rimuovono anche le più piccole particelle sospese nell'aria ambiente. Il processo di sviluppo si svolge in un sistema di camera bianca adattato alle esigenze della litografia, chiamato CleanCell©, che garantisce una qualità dell'aria di classe ISO 6. La tecnologia di climatizzazione integrata assicura temperature e umidità costanti, necessarie per il processo.

Per la realizzazione di questa installazione tecnologicamente complessa è stata incaricata la ditta specializzata in tecnologia di camere bianche SCHILLING ENGINEERING GmbH.

Un sistema di ricircolo dell'aria e di ritorno dell'aria completamente integrato nelle pareti della camera bianca garantisce un'accurata purificazione dell'aria secondo il principio della miscelazione turbolenta. Questa innovativa tecnologia di ricircolo, molto efficiente dal punto di vista energetico, così come l'uso di filtri ultra-performanti, sono stati i motivi principali per cui Heptagon ha scelto l'azienda tedesca del sud.

I ricercatori svizzeri sono inoltre soddisfatti dell'installazione del sistema di controllo innovativo per le camere bianche, CR Control®. Esso collega sensori che misurano pressione, umidità e temperatura a moduli di filtraggio, armadi climatici, funzioni di porte e luci e altri componenti. Tutte le funzioni principali sono monitorate e registrate, e sono visualizzate chiaramente su un touchscreen centrale, da cui possono essere controllate e regolate singolarmente.

Il sistema di camere bianche è stato adattato in stretta collaborazione alle esigenze specifiche del sito di ricerca e sviluppo. La camera bianca, inclusa la pianificazione, la costruzione e la qualificazione, è stata realizzata in soli 3 mesi ed è stata consegnata operativa.