Mikrooptické systémy pro inteligentní řízení

Proces fotolitografie musí probíhat naprosto bez prachu. Kromě nejmodernější technologie čistého prostoru zajišťují bezkontaminaci také speciální oděvy a nábytek. Zaměstnanci vstupují a opouštějí čistý prostor přes osobní přechod, který slouží také jako šatna.

V čisté místnosti o rozloze 100 m², CleanCell© třídy ISO 6, jsou vyvíjeny a testovány wafer pro mikrooptické komponenty. Okna a osvětlení jsou opatřena žlutými fóliemi, protože citlivé laky nesmějí být vystaveny UV záření.

Inteligentní řízení elektronických zařízení a datových přenosů postupuje neuvěřitelnou rychlostí. Vývoj stále menších a přesnějších senzorů vytváří možnosti, které ještě před několika lety připadaly utopické. Tyto kroky vývoje umožnil použití přesných čistých prostorových technologií, které chrání citlivé produkty před sebemenšími nečistotami.

Společnost Heptagon Advanced Micro Optics patří s revolučními vývoji mikrooptických systémů mezi nejvíce inovativní firmy na světě. Například světelné a pohybové senzory vyvinuté společností Heptagon jsou používány pro inteligentní řízení u chytrých telefonů. Na své pobočce v Curychu má mezinárodní společnost zřízené výzkumné a vývojové centrum. Tam nyní Heptagon nainstaloval dalších 100 m² čistého prostoru s nejmodernější technologií pro nejnovější procesy waferové technologie.

Použitá vysoce přesná waferová technologie může být již při nejmenších nečistotách při zpracování procesu výrazně narušena. Výroba těchto citlivých komponentů se proto provádí výhradně v čistých prostorách, které pomocí speciálního řízení vzduchu a filtračních systémů odstraňují i nejmenší suspendované částice z okolního vzduchu. Vývojový proces probíhá v systému čistého prostoru přizpůsobeném požadavkům fotolitografie, systém CleanCell©, který má čistotu vzduchu třídy ISO 6. Integrovaná klimatická technika zajišťuje stálé teploty a vlhkost, které jsou při procesu nezbytné.

Pro realizaci této technicky náročné instalace byla najata firma SCHILLING ENGINEERING GmbH, specializovaná na čisté prostory.

Plně integrované recirkulační a zpětné řízení vzduchu v čistých prostorách zajišťuje přesné čištění vzduchu podle principu turbulentního míchání vzduchu. Tato inovativní technologie recirkulace, která je velmi energeticky efektivní, stejně jako použití ultra vysokovýkonných filtrů, byly pro Heptagon rozhodujícími důvody, proč se rozhodli pro jihozápadní německou firmu.

Švýcarští vědci jsou také spokojeni s instalací inovativního systému kontroly čistých prostor CR Control©. Ten vytváří spojení s připojenými senzory, které měří tlak, vlhkost a teplotu, s filtračními moduly, klimatickými skříněmi, dveřními a světelnými funkcemi a dalšími komponenty. Všechny důležité funkce jsou sledovány a zaznamenávány, navíc jsou přehledně zobrazeny na centrálním dotykovém displeji a lze je ovládat a regulovat jednotlivě.

Systém čistých prostor byl vyvinut ve spolupráci a přizpůsoben speciálně potřebám výzkumného a vývojového pracoviště. Čistý prostor byl realizován včetně plánování, výstavby a kvalifikace za pouhé 3 měsíce a předán do provozu.