Magas pontosságú inline mérés vékony rétegeken

Az interferoMETER IMS5200-TH sorozat új fehér fény interferométerei nanométeres pontossággal mérik a rétegvastagságokat 1-től 100 mikrométerig. A legfeljebb 24 kHz-es mérési sebességgel az új fehér fény interferométerek dinamikus mérési feladatokra alkalmasak a félvezetőgyártásban – akár vákuumban is – valamint bevonati folyamatokban.

Az új interferoMETER IMS5200-TH fehér fény interferométer gyors, magas pontosságú inline mérésre lett tervezve. Nanométeres pontossággal méri a rétegvastagságokat 1-től 100 µm-ig, kiváló <± 100 nm linearitással. Emellett lehetőség van akár öt vékony réteg multi-peak mérésére is. A mérési sebesség fokozatmentesen állítható 100 Hz-től 24 kHz-ig. Köszönhetően az előre beállított anyagválasztó listának, a készülék rendkívül rugalmasan alkalmazható. Külön anyagfelkészítés nem szükséges.

A IMS5200-TH alkalmazási területei sokrétűek, ide tartozik a légpárkány mérés üveglapokon és maszkokon, a bevonati folyamatok ellenőrzése italos kartonokon, valamint a festékrétegvastagság mérés az acéliparban. Különösen az olyan iparágak, mint a félvezetőgyártás, fém- és acélipar vagy csomagolóipar profitál a Micro-Epsilon új interferométer sorozatából.

A szenzor és a vezérlő gyárilag összehangoltan és kalibrálva kerülnek szállításra, így nanométeres pontosságú légpárkány- és rétegvastagság mérés valósítható meg. A kompakt és masszív szenzor felépítésének köszönhetően, valamint a ± 2 mm-es nagy munkatartománynak, a szenzor könnyen integrálható szűk gyártósorokra is. A vezérlőt egy DIN sínre szerelik a kapcsolószekrényben.

A modern hálózatokba való zökkenőmentes integráció érdekében a Micro-Epsilon Ethernet, EtherCAT és RS422 csatlakozásokat, valamint fejlett enkóder csatlakozásokat és digitális I/O-kat kínál. A sokoldalú interfészeknek köszönhetően a mérési eredmények hatékonyan továbbíthatók meglévő analóg kimeneteken keresztül, és rugalmasan integrálhatók a meglévő automatizálási rendszerekbe.

A védelem IP40 (Vezérlő) és IP65 (Szenzor) fokozattal, valamint +10 és +50 °C közötti hőmérsékleti tartományban működő szenzorok ipari környezethez igazítottak. Használatuk különleges környezetben is lehetséges, például tisztaterekben vagy vákuumban. Magas rázkódás- vagy vibrációterhelés esetén is biztosítják a folyamatos magas mérési minőséget. A hagyományos interferométerekhez képest a Micro-Epsilon fehér fény interferométerek üzembe helyezése és paraméterezése kényelmesen elvégezhető webes felületen keresztül, így nem szükséges külön szoftver telepítése.​