Hoge precisie inline-metingen van dunne lagen

De nieuwe witlicht-interferometers uit de serie interferoMETER IMS5200-TH worden ingezet voor nanometerprecieze diktemetingen van 1 tot 100 micrometer. Met een meetfrequentie tot 24 kHz zijn de nieuwe witlicht-interferometers geschikt voor dynamische meettaken in de halfgeleiderfabricage – ook in vacuüm – evenals in coatingprocessen.

De nieuwe witlicht-interferometer interferoMETER IMS5200-TH is ontworpen voor snelle, hoogprecisie inline-metingen. Het meet nanometerprecies diktes van 1 tot 100 µm met een uitstekende lineariteit van <± 100 nm. Daarnaast is de multi-peak-meting van tot vijf dunne lagen mogelijk. De meetfrequentie kan traploos worden ingesteld in het bereik van 100 Hz tot 24 kHz. Dankzij de opgeslagen materiaallijst is het systeem zeer flexibel in gebruik. Een aparte inleerprocedure voor het materiaal is niet nodig.

De toepassingsgebieden van de IMS5200-TH zijn veelzijdig en variëren van de luchtspaltmeting bij glaswafers en maskers tot de controle van coatingprocessen bij drankverpakkingen en diktecontroles van lak in de metaalindustrie. Vooral sectoren zoals halfgeleiderfabricage, metaal- en staalindustrie of de verpakkingsindustrie profiteren van de nieuwe interferometerserie van Micro-Epsilon.

Sensor en controller worden fabrieksgestuurd op elkaar afgestemd en gekalibreerd, waardoor nanometerprecieze luchtspalt- en diktemetingen mogelijk zijn. Dankzij de compacte en robuuste opbouw van de sensor, gecombineerd met een groot werkbereik van ± 2 mm, kan de sensor eenvoudig worden geïntegreerd in krappe productielijnen. De controller wordt via een DIN-rail in de schakelkast gemonteerd.

Voor een naadloze integratie in moderne netwerken biedt Micro-Epsilon Ethernet, EtherCAT en RS422, evenals geavanceerde encoder-aansluitingen en digitale I/O. Dankzij veelzijdige interfaces kunnen meetwaarden efficiënt worden doorgegeven via bestaande analoge uitgangen en flexibel worden geïntegreerd in bestaande automatiseringssystemen.

Met beschermingsklasse IP40 (controller) en IP65 (sensor), en inzetbaar binnen een temperatuurbereik van +10 tot +50 °C, zijn de sensoren aangepast aan industriële omgevingen. Ook in speciale omgevingen zoals cleanrooms en vacuüm is gebruik mogelijk. Zelfs bij hoge schok- of vibratiebelasting levert het interferometer consequent hoge meetresultaten. In vergelijking met conventionele interferometers kunnen de inbedrijfstelling en parameterinstelling van Micro-Epsilon witlicht-interferometers eenvoudig via een webinterface worden uitgevoerd, waardoor extra software niet nodig is.