Vysoce přesné inline měření tenkých vrstev

Nové bílé světelné interferometry série interferoMETER IMS5200-TH jsou určeny pro nanometrově přesná měření tloušťky vrstev od 1 do 100 mikrometrů. S měřicí rychlostí až 24 kHz jsou nové bílé světelné interferometry ideální pro dynamické měřicí úlohy ve výrobě polovodičů – i ve vakuu – a v procesech povlakování.

Nový bílé světelné interferometry interferoMETER IMS5200-TH je navržen pro rychlá, vysoce přesná inline měření. Měří nanometrově přesnou tloušťku vrstev od 1 do 100 µm s vynikající linearitou <± 100 nm. Navíc je možná vícevrstvá měření s až pěti tenkými vrstvami. Měřicí rychlost lze plynule nastavit v rozmezí od 100 Hz do 24 kHz. Díky uloženému seznamu materiálů je zařízení maximálně flexibilní v použití. Samostatné učení materiálu není nutné.

Oblasti použití IMS5200-TH jsou rozmanité a sahají od měření vzduchových mezer u skleněných waferů a masek přes kontrolu povlakovacích procesů u nápojových kartonů až po kontrolu tloušťky laku v kovovém průmyslu. Především odvětví jako výroba polovodičů, kovový a ocelářský průmysl nebo obalový průmysl těží z nové série interferometrů od Micro-Epsilon.

Senzor a řídicí jednotka jsou továrně sladěny a kalibrovány, což umožňuje nanometrově přesná měření vzduchových mezer a tloušťky vrstev. Díky kompaktní a robustní konstrukci senzoru, kombinované s velkým pracovním rozsahem ± 2 mm, lze senzor snadno integrovat i do stísněných výrobních linek. Řídicí jednotka je namontována na liště DIN v rozvaděči.

Pro bezproblémové začlenění do moderních sítí nabízí Micro-Epsilon Ethernet, EtherCAT a RS422, stejně jako pokročilé připojení enkodérů a digitální I/O. Díky rozmanitým rozhraním lze měřicí hodnoty efektivně zpracovávat přes stávající analogové výstupy a flexibilně je integrovat do stávajících automatizačních systémů.

S ochranným krytem IP40 (řídicí jednotka) a IP65 (senzor) a v teplotním rozsahu +10 až +50 °C jsou senzory přizpůsobeny průmyslovému prostředí. Jejich použití je možné také v speciálních prostředích, jako jsou čisté prostory nebo vakuum. I při vysokých nárazech nebo vibracích interferometr zajišťuje konzistentně vysokou přesnost měření. Ve srovnání s běžnými interferometry je uvedení do provozu a parametrizace u bílé světelné interferometry od Micro-Epsilon pohodlné přes webové rozhraní, což eliminuje nutnost instalace dodatečného softwaru.