Wysokoprecyzyjny pomiar inline cienkich warstw

Nowe interferometry światła białego z serii interferoMETER IMS5200-TH są używane do precyzyjnych pomiarów grubości warstw od 1 do 100 mikrometrów. Z prędkością pomiaru do 24 kHz, nowe interferometry światła białego są przeznaczone do dynamicznych zadań pomiarowych w produkcji półprzewodników – również w próżni – oraz w procesach powlekania.

Nowy interferometr światła białego interferoMETER IMS5200-TH został zaprojektowany do szybkich, wysokoprecyzyjnych pomiarów inline. Mierzy z nanometrową dokładnością grubości warstw od 1 do 100 µm z doskonałą liniowością < ± 100 nm. Ponadto możliwy jest pomiar wielopikowy do pięciu cienkich warstw. Prędkość pomiaru można płynnie regulować w zakresie od 100 Hz do 24 kHz. Dzięki zapisanej liście wyboru materiałów jest maksymalnie elastyczny w zastosowaniu. Nie jest konieczne osobne szkolenie materiału.

Zakres zastosowań IMS5200-TH jest różnorodny i obejmuje pomiar szczeliny powietrznej na szklanych waflach i maskach, kontrolę procesów powlekania w kartonach na napoje, aż po pomiary grubości lakieru w przemyśle metalowym. Branże takie jak produkcja półprzewodników, przemysł metalowy i stalowy czy przemysł opakowań korzystają z nowej serii interferometrów od Micro-Epsilon.

Czujnik i kontroler są fabrycznie dopasowane i skalibrowane, co umożliwia pomiary z nanometrową dokładnością szczeliny powietrznej i grubości warstw. Ze względu na kompaktową i wytrzymałą konstrukcję czujnika, połączoną z dużym zakresem roboczym ± 2 mm, czujnik można łatwo zintegrować nawet w ciasnych liniach produkcyjnych. Kontroler jest montowany na szynie DIN w szafie sterowniczej.

Aby zapewnić bezproblemową integrację z nowoczesnymi sieciami, Micro-Epsilon oferuje Ethernet, EtherCAT i RS422 oraz zaawansowane złącza enkoderów i cyfrowe I/O. Dzięki wszechstronnym interfejsom można efektywnie przetwarzać wartości pomiarowe za pomocą istniejących wyjść analogowych i elastycznie integrować je z istniejącymi systemami automatyzacji.

Przy stopniu ochrony IP40 (kontroler) i IP65 (czujnik), oraz w zakresie temperatur od +10 do +50 °C, czujniki są dostosowane do środowisk przemysłowych. Ich zastosowanie jest również możliwe w specjalnych warunkach, takich jak pomieszczenia czyste i próżnia. Nawet przy dużych obciążeniach wstrząsami lub drganiami interferometr zapewnia stałe wysokie wyniki pomiarów. W porównaniu do tradycyjnych interferometrów, uruchomienie i konfiguracja interferometrów światła białego Micro-Epsilon odbywa się wygodnie przez interfejs webowy, bez konieczności instalowania dodatkowego oprogramowania.