Mesure en ligne ultra-précise des couches fines

Les nouveaux interféromètres à lumière blanche de la série interferoMETER IMS5200-TH sont utilisés pour des mesures de précision nanométrique d'épaisseur de couche allant de 1 à 100 micromètres. Avec un taux de mesure allant jusqu'à 24 kHz, les nouveaux interféromètres à lumière blanche sont destinés aux tâches de mesure dynamiques dans la fabrication de semi-conducteurs – même sous vide – ainsi que dans les processus de revêtement.

Le nouvel interféromètre à lumière blanche interferoMETER IMS5200-TH est conçu pour des mesures en ligne rapides et de haute précision. Il mesure avec une précision nanométrique des épaisseurs de couche de 1 à 100 µm avec une excellente linéarité de <± 100 nm. De plus, la mesure multi-maximum permet de détecter jusqu'à cinq couches fines. La fréquence de mesure peut être réglée de manière continue dans la plage de 100 Hz à 24 kHz. Grâce à une liste de matériaux intégrée, il est extrêmement flexible dans son utilisation. Aucun apprentissage séparé du matériau n'est nécessaire.

Les domaines d'application du IMS5200-TH sont variés, allant de la mesure de l'espace d'air sur des wafers en verre et des masques, à l'inspection des processus de revêtement sur des cartons de boissons, en passant par le contrôle de l'épaisseur de peinture dans l'industrie métallurgique. Des secteurs tels que la fabrication de semi-conducteurs, l'industrie métallurgique et sidérurgique ou l'industrie de l'emballage profitent particulièrement de la nouvelle série d'interféromètres de Micro-Epsilon.

Le capteur et le contrôleur sont calibrés en usine pour fonctionner ensemble, ce qui permet des mesures d'espace d'air et d'épaisseur de couche avec une précision nanométrique. Grâce à leur conception compacte et robuste, combinée à une plage de travail de ± 2 mm, le capteur peut être facilement intégré même dans des lignes de production étroites. Le contrôleur est monté sur un rail DIN dans un tableau électrique.

Pour une intégration transparente dans les réseaux modernes, Micro-Epsilon propose Ethernet, EtherCAT et RS422, ainsi que des connexions avancées pour encodeurs et des E/S numériques. Grâce à une interface polyvalente, les valeurs de mesure peuvent être traitées efficacement via des sorties analogiques existantes et intégrées de manière flexible dans les systèmes d'automatisation existants.

Avec une protection IP40 (contrôleur) et IP65 (capteur), ainsi qu'une plage de température de +10 à +50 °C, les capteurs sont adaptés aux environnements industriels. Leur utilisation est également possible dans des environnements spécifiques tels que les salles blanches et le vide. Même en cas de chocs ou de vibrations importants, l'interféromètre garantit des résultats de mesure constants et précis. Par rapport aux interféromètres traditionnels, la mise en service et la configuration des interféromètres à lumière blanche Micro-Epsilon se font facilement via une interface web, sans nécessiter l'installation de logiciel supplémentaire.