Misurazione inline ad alta precisione di sottili strati

I nuovi interferometri a luce bianca della serie interferoMETER IMS5200-TH vengono utilizzati per misurazioni di spessore di rivestimenti con precisione nanometrica da 1 a 100 micrometri. Con una velocità di misurazione fino a 24 kHz, i nuovi interferometri a luce bianca sono ideali per compiti di misurazione dinamica nella produzione di semiconduttori – anche in vuoto – così come nei processi di rivestimento.

Il nuovo interferometro a luce bianca interferoMETER IMS5200-TH è progettato per misurazioni rapide e altamente precise in linea. Misura spessori di rivestimento con precisione nanometrica da 1 a 100 µm con un'eccellente linearità di <± 100 nm. Inoltre, è possibile effettuare misurazioni multi-picco di fino a cinque sottili rivestimenti. La velocità di misurazione può essere regolata in modo continuo nell'intervallo da 100 Hz a 24 kHz. Grazie alla lista di materiali predefiniti, il dispositivo è estremamente flessibile nell'uso. Non è necessario un addestramento specifico del materiale.

Le aree di applicazione dell'IMS5200-TH sono molteplici e vanno dalla misurazione dello spazio d'aria tra vetri e maschere, alla verifica dei processi di rivestimento di cartoni di bevande, fino ai controlli dello spessore del rivestimento nell'industria metallurgica. Settori come la produzione di semiconduttori, l'industria metallurgica e quella delle confezioni beneficiano della nuova serie di interferometri di Micro-Epsilon.

Il sensore e il controller sono calibrati e ottimizzati in fabbrica, consentendo misurazioni di spazi d'aria e spessori di rivestimento con precisione nanometrica. Grazie alla struttura compatta e robusta del sensore, combinata con un ampio intervallo di lavoro di ± 2 mm, il sensore può essere facilmente integrato anche in linee di produzione strette. Il controller viene montato su un supporto a rack nel quadro elettrico.

Per un'integrazione senza soluzione di continuità nelle reti moderne, Micro-Epsilon offre Ethernet, EtherCAT e RS422, oltre a avanzate connessioni per encoder e ingressi/uscite digitali. Grazie alle interfacce versatili, i valori di misura possono essere elaborati in modo efficiente tramite uscite analogiche esistenti e integrati in sistemi di automazione già presenti.

Con grado di protezione IP40 (controller) e IP65 (sensore), e utilizzabile in un intervallo di temperatura da +10 a +50 °C, i sensori sono adattati agli ambienti industriali. È possibile utilizzarli anche in ambienti particolari come camere bianche e vuoto. Anche in presenza di elevate vibrazioni o shock, l'interferometro garantisce risultati di misura costanti e di alta qualità. Rispetto agli interferometri tradizionali, l'avvio e la configurazione degli interferometri a luce bianca Micro-Epsilon sono semplici e comodi tramite interfaccia web, senza la necessità di installare software aggiuntivo.