-
- Készülékek
Magas pontosságú inline mérés vékony rétegeken
Az interferoMETER IMS5200-TH sorozat új fehér fény interferométerei nanométeres pontossággal mérik a rétegvastagságokat 1-től 100 mikrométerig. A legfeljebb 24 kHz-es mérési sebességgel az új fehér fény interferométerek dinamikus mérési feladatokra alkalmasak a félvezetőgyárt…








