Medición en línea de alta precisión de capas delgadas

Los nuevos interferómetros de luz blanca de la serie interferoMETER IMS5200-TH se utilizan para mediciones de espesores de capa con precisión nanométrica de 1 a 100 micrómetros. Con una tasa de medición de hasta 24 kHz, los nuevos interferómetros de luz blanca están destinados a tareas de medición dinámicas en la fabricación de semiconductores – incluso en vacío – así como en procesos de recubrimiento.

El nuevo interferómetro de luz blanca interferoMETER IMS5200-TH está diseñado para mediciones en línea rápidas y de alta precisión. Mide espesores de capa con precisión nanométrica de 1 a 100 µm con una linealidad excelente de <± 100 nm. Además, es posible realizar mediciones de múltiples picos de hasta cinco capas delgadas. La tasa de medición se puede ajustar de forma continua en el rango de 100 Hz a 24 kHz. Gracias a una lista de selección de materiales almacenada, es extremadamente flexible en su uso. No es necesario un entrenamiento separado del material.

Las áreas de aplicación del IMS5200-TH son variadas y van desde la medición del espacio de aire en obleas de vidrio y máscaras, hasta la inspección de procesos de recubrimiento en cajas de bebidas y la comprobación de espesores de pintura en la industria del metal. Industrias como la fabricación de semiconductores, la industria del metal y del acero, o la industria del embalaje se benefician especialmente de la nueva serie de interferómetros de Micro-Epsilon.

El sensor y el controlador están ajustados y calibrados en fábrica, lo que permite mediciones de espacios de aire y espesores de capa con precisión nanométrica. Gracias a su construcción compacta y robusta, combinada con un amplio rango de trabajo de ± 2 mm, el sensor puede integrarse fácilmente incluso en líneas de producción estrechas. El controlador se monta en una barra de riel en el armario de control.

Para una integración sin problemas en redes modernas, Micro-Epsilon ofrece Ethernet, EtherCAT y RS422, así como conexiones avanzadas para codificadores y entradas/salidas digitales. Gracias a interfaces versátiles, los valores de medición se pueden procesar de manera eficiente a través de salidas analógicas existentes y se pueden integrar de forma flexible en sistemas de automatización existentes.

Con una protección IP40 (controlador) e IP65 (sensor), y operables en un rango de temperatura de +10 a +50 °C, los sensores están adaptados a entornos industriales. También es posible su uso en entornos especiales como salas limpias y vacío. Incluso en condiciones de altas cargas de golpes o vibraciones, el interferómetro garantiza resultados de medición consistentemente precisos. En comparación con los interferómetros tradicionales, la puesta en marcha y la parametrización de los interferómetros de luz blanca de Micro-Epsilon se realizan cómodamente a través de una interfaz web, sin necesidad de instalar software adicional.