Innovatív pozícionáló megoldás a DUV-litográfiához

Ultrakompakt, rendkívül pontos pozícionálási megoldás a szilíciumlapka-expozícióhoz száraz, oxigénmentes nitrogén- atmoszférában. (Kép: Steinmeyer csoport)

A DUV-litográfiához a Steinmeyer a drezdai helyszínen, Európa legnagyobb IKT-/mikroelektronikai központjában, egy ultrakompakt, rendkívül pontos pozícionáló megoldást fejlesztett ki a szilárdtest-lézeres szilíciumlapka-expozícióhoz száraz, oxigénmentes nitrogéngáz atmoszférában. Az innovatív egység opcionális kiegészítőként tervezték meglévő gépekbe való integráláshoz, és mércét állít a kompakt méret, megbízhatóság és részecskementesség terén.

Széles technológiai kompetenciájának, átfogó mérnöki szakértelmének, mély alkalmazási ismereteinek és nagy tapasztalatának köszönhetően a Steinmeyer csoport keresett partner a szilíciumlapka- és chipgyártáshoz szükséges igényes pozícionálórendszerek tervezésében, fejlesztésében és gyártásában. A drezdai helyszínen végzett magas szintű megoldáskompetencia egyik példája a kiegészítő polarizációs szűrő a miniaturizáció és az automatizálás területén a DUV-litográfiában.

Kiegészítő polarizációs szűrő a DUV-litográfiához

A DUV-polarizációs szűrő méretei kb. 120 x 180 x 31 mm, rendkívül kompakt kialakítású. Mindössze 15 mm magasságban három sík szűrőt helyeztek el, amelyek az optikai rendszer sugárútjában elmozdíthatók, és egymástól függetlenül pozícionálhatók. A három szűrő relatív helyzete adja meg a kívánt szűrő tulajdonságot. A mozgatás csúszómenetes hajtáslánccal (emelés 75 mm) és elektronikus kommutált DC-motorokkal történik. Minden szűrő saját hajtási lánccal rendelkezik, amelyet a DUV-sugárzás elleni védelem érdekében acéllemez véd. A rendszer száraz üzemű, pontossága akár 1,5 µm, és karbantartásmentes, rugalmas 24/7 működést tesz lehetővé több ezer pozícióváltási cikluson keresztül (tíz év alatt elosztva).

Extrém részecskementes csúszómenetes hajtás

A miniaturizált csúszómenetes hajtás a szerkezet szíve. A Suhl-i helyszínen kifejlesztették kifejezetten a DUV-litográfiás alkalmazásokhoz, és a 3 mm-es tengelyátmérőjével és 112 mm-es tengelyhosszával a piacon a legkisebbek közé tartozik ebben a precizitásban. Az innovatív anyagpár - a anya magas teljesítményű PEEK műanyagból, a tengely pedig rozsdamentes acélból készült - lehetővé teszi még extrém környezeti feltételek között is a kiváló csúszási képességet, hőelvezetést és mechanikai stabilitást.

Keresett partner a félvezetőiparban

Akár kezelőrendszerről, ellenőrzésről vagy összeszerelésről van szó, akár HV-, UHV- vagy EUV-pozícionálásról: a Steinmeyer több évtizedes tapasztalattal rendelkezik félvezető alkalmazásokhoz szükséges pozícionálórendszerek tervezésében és gyártásában, és speciális know-how-val bír a száraz, oxigénmentes atmoszférák, például vákuum és tiszta nitrogén szempontjából. Ezért a vállalatcsoport képes megbízható, gazdaságos megoldásokat kínálni még kihívást jelentő feladatokra is. A bevált rendszereket ügyfélspecifikusan igazítják az alkalmazási követelményekhez – a tesztlaboroktól az automatizált félvezetőgyárakig, akár ISO 14644-1 szerint, 1. osztályig. Minden gyártási alkatrész vákuumigényes módon van tervezve, és a gyártás után külön tisztítják. Az összeszerelést egy ISO 6-os osztályú tanúsított tisztatérben végzik. A több mint 3.900 m2-es változtatható helyiségtér kivételes rugalmasságot biztosít. A tisztatér bővítése a következő évben fejeződik be. A tisztatérbarát csomagolás nitrogéngáz töltéssel védi a készterméket szállítás közben.