Système de levage linéaire

Palan électrique linéaire

Graphique de levage linéaire

La fabrication de semi-conducteurs nécessite une multitude d'étapes de production, qui sont réalisées par des équipements appelés « équipements ». Pour une production efficace de semi-conducteurs, chaque étape doit être approvisionnée en wafers de manière ponctuelle et flexible, c'est pourquoi cela est de plus en plus automatisé. À cet effet, différents systèmes de transport de conteneurs, dans lesquels les wafers sont stockés et transportés, sont utilisés dans les fabs (usines de fabrication de semi-conducteurs).

Avec le système Linear Hoist de Schiller, l'approvisionnement automatisé des équipements de production ou de mesure avec les wafers dans les différents Bays (zones de production) d'une usine est assuré. Outre le potentiel d'économie en personnel, le système Linear Hoist offre également des effets positifs sur l'utilisation des équipements connectés. Des augmentations significatives de l'utilisation des équipements peuvent être atteintes grâce au Linear Hoist, grâce à la réduction des temps d'attente lors du changement de cassette. Le système peut être utilisé pour différentes formes de conteneurs (FOUP, FOSB, cassettes de 200 mm/300 mm) et répond à la classe ISO-3 en matière de salle blanche.

Contrairement aux systèmes de navette classiques, le système Linear Hoist n'est pas lié à une voie ferrée. Le portique de plafond avec un axe x et y, ainsi qu'une unité de descente (axe z), permet une grande flexibilité lors de l'approche des équipements et offre une solution peu encombrante grâce à son montage au plafond. De là, les conteneurs peuvent être transférés à grande vitesse (axe x : 2 m/s, axes y et z : 1 m/s) vers les ports de transfert des équipements de production.

En interaction avec des systèmes de transport, tels que le système de transport en salle blanche de Schiller ou les systèmes OHT (Overhead Hoist Transport), une alimentation fluide 24/7 est possible - sans intervention des opérateurs - avec des charges.

La transmission inductive sans contact d'énergie le long des axes x et y, ainsi que la transmission de données vers le préhenseur, se font sans chaînes de traction via des câbles de préhension. Grâce à la haute précision de répétition du Linear Hoist, les ports de chargement sur l'équipement ou les broches de couplage cinématique du système de transport en salle blanche de Schiller peuvent être abordés de manière fiable et totalement reproductible.

Pour le stockage intermédiaire (places tampons), l'intégration d'un stock supérieur est également possible. Cela permet de positionner les wafers très près du processus et de fournir sans perte de temps aux stations de production. Le nombre de places de stockage peut être adapté en fonction des dimensions du système Linear Hoist et peut atteindre plusieurs centaines de positions.