Lineární zdvihací systém

Lineární zdvihák

Lineární zdvihací graf

Výroba polovodičů vyžaduje řadu výrobních kroků, které jsou prováděny na takzvaných zařízeních. Pro efektivní výrobu polovodičů musí být jednotlivé stanice včasně a flexibilně zásobovány wafery, proto je tento proces stále více automatizován. K tomu se v továrnách na výrobu polovodičů (Fabs) používají různé dopravní systémy pro nádoby, ve kterých jsou wafery skladovány a přepravovány.

Systém Linear Hoist od Schiller zajišťuje automatizované zásobování výrobního nebo měřicího zařízení wafery v jednotlivých zónách (produkčních oblastech) továrny. Kromě úspor na personálu přináší systém Linear Hoist také pozitivní efekty na využití připojeného vybavení. Výrazné zvýšení využití zařízení lze dosáhnout díky zkrácení čekacích dob při výměně kazet pomocí systému Linear Hoist. Systém může být použit pro různé tvary nádob (FOUP, FOSB, kazety 200mm/300mm) a splňuje čistotu třídy ISO-3.

Na rozdíl od klasických shuttle systémů není systém Linear Hoist vázán na kolej. Stropní portál s osami x a y a jednotkou pro spouštění (osa z) umožňuje vysokou flexibilitu při přistupování k zařízením a díky upevnění na stropu nabízí úsporu místa. Odtud mohou být nádoby s vysokou rychlostí (osa x: 2 m/s, osa y a z: 1 m/s) předávány přechodovým portům výrobních zařízení.

Ve spolupráci s dopravními systémy, například systémem Schiller Cleanroom Transport nebo systémy OHT (Overhead Hoist Transport), je tak možné zajišťovat plynulou zásobu 24/7 – bez zásahů operátorů – s nádobami.

Induktivní, bezkontaktní přenos energie podél os x a y a přenos dat k uchopovači probíhá bez tažných řetězů přes tažné lany. Díky vysoké opakovatelnosti systému Linear Hoist lze spolehlivě a zcela reprodukovatelně přistupovat ke vstupním portům na zařízení nebo k Cinematic Coupling Pins na systému Schiller Cleanroom Transport.

Pro meziskladování (zásobníky) je také možná integrace střežního skladu. Tím lze wafery umístit velmi blízko k procesu a bez ztráty času zásobovat výrobní stanice. Počet skladovacích míst lze přizpůsobit rozměrům systému Linear Hoist a může dosahovat až několika stovek míst.