System podnoszenia liniowego

Podnośnik liniowy

Wykres podnoszenia liniowego

Produkcja półprzewodników wymaga wielu etapów produkcyjnych, które są wykonywane za pomocą tak zwanych urządzeń (Equipments). Aby zapewnić efektywną produkcję półprzewodników, poszczególne stanowiska muszą być dostarczane z waflami w odpowiednim czasie i z elastycznością, dlatego coraz częściej automatyzuje się ten proces. W tym celu w fabrykach półprzewodników (Fabs) stosuje się różne systemy transportowe dla pojemników, w których przechowuje się i transportuje wafle.

System Linear Hoist firmy Schiller zapewnia zautomatyzowane zaopatrywanie produkcyjnego lub pomiarowego sprzętu w wafle w poszczególnych strefach (Bays) fabryki. Oprócz potencjału oszczędności na stronie personelu, system Linear Hoist przynosi także pozytywne efekty w zakresie wykorzystania podłączonego sprzętu. Znaczący wzrost wykorzystania sprzętu można osiągnąć dzięki systemowi Linear Hoist, skracając czas oczekiwania sprzętu na wymianę kaset. System może być stosowany do różnych kształtów pojemników (FOUP, FOSB, kasety 200mm/300mm) i spełnia normę czystości ISO-3.

W przeciwieństwie do klasycznych systemów shuttle, system Linear Hoist nie jest związany z torami. Portal sufitowy z osią x i y oraz jednostką opuszczania (oś z) umożliwia dużą elastyczność w podjeździe do sprzętu i dzięki montażowi na suficie zapewnia oszczędność miejsca. Stamtąd pojemniki mogą być przekazywane do portów przeładunkowych urządzeń produkcyjnych z dużą prędkością (oś x: 2 m/s, osie y i z: 1 m/s).

W połączeniu z systemami transportowymi, takimi jak system Schiller Cleanroom Transport System lub systemy OHT (Overhead Hoist Transport), możliwa jest płynna, 24/7, dostawa bez ingerencji operatorów, z użyciem koszy.

Indukcyjna, bezdotykowa transmisja energii wzdłuż osi x i y oraz przesył danych do chwytaka odbywa się bez taśm napędowych, za pomocą lin chwytakowych. Dzięki wysokiej powtarzalności systemu Linear Hoist można niezawodnie i w pełni powtarzalnie podjeżdżać do portów ładunkowych na sprzęcie lub pinów Cinematic Coupling na systemie transportowym Schiller Cleanroom.

Dla tymczasowego przechowywania (bufory) możliwa jest także integracja magazynu pokładowego. Dzięki temu wafle mogą być umieszczane bardzo blisko procesu i dostarczane do stanowisk produkcyjnych bez strat czasowych. Liczba miejsc magazynowych może być dostosowana do wymiarów systemu Linear Hoist i sięgać nawet kilku setek miejsc.