Sistema di sollevamento lineare

Sollevatore lineare

Grafico della fune lineare

La produzione di semiconduttori richiede una serie di passaggi produttivi, eseguiti da cosiddetti equipment. Per una produzione efficace di semiconduttori, le singole stazioni devono essere fornite in modo tempestivo e flessibile con i wafer, motivo per cui questa operazione è sempre più automatizzata. A tal fine, nelle fabbriche di semiconduttori (Fabs) vengono utilizzati diversi sistemi di trasporto per i contenitori in cui vengono immagazzinati e trasportati i wafer.

Con il sistema Linear Hoist di Schiller, viene garantita la fornitura automatizzata di apparecchiature di produzione o misurazione con i wafer nelle singole baie (aree di produzione) di una fabbrica. Oltre al potenziale di risparmio sul fronte del personale, il sistema Linear Hoist produce anche effetti positivi sull’utilizzo delle apparecchiature collegate. Aumenti significativi nell’utilizzo delle apparecchiature possono essere raggiunti con il Linear Hoist grazie alla riduzione dei tempi di attesa delle apparecchiature durante il cambio dei cassette. Il sistema può essere utilizzato per diverse forme di contenitori (FOUP, FOSB, cassette da 200mm/300mm) e soddisfa la classe di cleanroom ISO-3.

A differenza dei sistemi shuttle tradizionali, il sistema Linear Hoist non è vincolato a rotaie. Il portale a soffitto con assi x e y e un'unità di discesa (asse z) consente un’elevata flessibilità nel raggiungimento delle apparecchiature e offre, grazie al montaggio a soffitto, una soluzione salvaspazio. Da qui, i contenitori possono essere consegnati alle porte di consegna delle apparecchiature di produzione a velocità elevate (asse x: 2 m/s, assi y e z: 1 m/s).

In combinazione con sistemi di trasporto come il sistema Schiller Cleanroom o sistemi OHT (Overhead Hoist Transport), è possibile garantire una fornitura senza interruzioni 24/7 - senza intervento degli operatori - con carichi.

Il trasferimento di energia induttivo e senza contatto lungo gli assi x e y, così come il trasferimento dei dati al gripper, avviene senza catene di scorrimento tramite cavi di presa. Grazie all’elevata precisione ripetitiva del Linear Hoist, i load port sull’apparecchiatura o i pin di accoppiamento cinematico sul sistema di trasporto Cleanroom di Schiller possono essere raggiunti in modo affidabile e assolutamente riproducibile.

Per lo stoccaggio temporaneo (piani di buffer), è inoltre possibile integrare un magazzino superiore. In questo modo, i wafer possono essere posizionati molto vicino al processo e forniti alle stazioni di produzione senza perdite di tempo. Il numero di posti di stoccaggio può essere adattato alle dimensioni del sistema Linear Hoist e può arrivare a diverse centinaia di posti.