Lineair hijssysteem

Lineaire hijs

Lineaire hijsgrafiek

De productie van halfgeleiders vereist een verscheidenheid aan productieprocessen, die worden uitgevoerd door zogenaamde equipment. Voor een efficiënte halfgeleiderproductie moeten de afzonderlijke stations tijdig en flexibel worden voorzien van wafers, daarom wordt dit steeds meer geautomatiseerd. Hiervoor worden in de fabrieken (fabrieken voor halfgeleiderproductie) verschillende transportsystemen voor de containers, waarin de wafers worden opgeslagen en getransporteerd, ingezet.

Met het Linear Hoist-systeem van Schiller wordt de geautomatiseerde bevoorrading van productie- of meetapparatuur met wafers in de verschillende bays (productiegebieden) van een fabriek gewaarborgd. Naast het besparingspotentieel op het gebied van personeel, zorgen het Linear Hoist-systeem ook voor positieve effecten op de benutting van de aangesloten apparatuur. Significante verhogingen van de apparatuurbenutting kunnen worden bereikt met het Linear Hoist door verkorte wachttijden van de apparatuur bij het wisselen van de kassetten. Het systeem kan worden ingezet voor verschillende containerformaten (FOUP, FOSB, 200mm/300mm kassetten) en voldoet aan de cleanroom-klasse ISO-3.

In tegenstelling tot klassieke shuttle-systemen is het Linear Hoist-systeem niet railsgebonden. Het plafondportaal met een x- en y-as en een afseilunit (z-as) biedt een hoge flexibiliteit bij het benaderen van de apparatuur en biedt door de montage aan het plafond een ruimtebesparende oplossing. Vanaf daar kunnen de containers met hoge snelheid (x-as: 2 m/s, y- en z-as: 1 m/s) worden overgedragen aan de overdrachtspoorten van de productie-installaties.

In samenwerking met transportsystemen, bijvoorbeeld het Schiller Cleanroom Transport System of OHT-systemen (Overhead Hoist Transport), is zo een soepele 24/7-bevoorrading mogelijk - zonder ingrepen van operators - met wafers.

De inductieve, contactloze energieoverdracht langs de x- en y-as, evenals de gegevensoverdracht naar de grijper, gebeurt zonder slepende kettingen via de grijperkabels. Door de hoge herhaalnauwkeurigheid van het Linear Hoist kunnen loadports op de apparatuur of cinematic coupling pins op het Schiller Cleanroom Transport System betrouwbaar en volledig reproduceerbaar worden benaderd.

Voor de tussenopslag (bufferplaatsen) is ook de integratie van een deklaagmagazijn mogelijk. Hierdoor kunnen de wafers zeer dicht bij het proces worden gepositioneerd en zonder tijdverlies de productiestations worden beleverd. Het aantal opslagplaatsen kan worden aangepast op basis van de afmetingen van het Linear Hoist-systeem en kan oplopen tot enkele honderden plaatsen.