Sistema de polipasto lineal

Polipasto lineal

Gráfico de polipasto lineal

La fabricación de semiconductores requiere una variedad de pasos de producción que se llevan a cabo en los llamados equipos. Para una producción eficiente de semiconductores, las diferentes estaciones deben ser abastecidas de manera oportuna y flexible con obleas, por lo que esto se está automatizando cada vez más. Para ello, en las fábricas de semiconductores (Fabs) se utilizan diferentes sistemas de transporte para los contenedores en los que se almacenan y transportan las obleas.

Con el sistema Linear Hoist de Schiller, se garantiza el suministro automatizado de equipos de producción o medición con las obleas en las diferentes bahías (áreas de producción) de una fábrica. Además del potencial de ahorro en personal, el sistema Linear Hoist también genera efectos positivos en la utilización del equipo conectado. Se pueden lograr aumentos significativos en la utilización del equipo gracias al sistema Linear Hoist, debido a la reducción en los tiempos de espera durante el cambio de cassettes. El sistema puede ser utilizado para diferentes formas de contenedores (FOUP, FOSB, cassettes de 200mm/300mm) y cumple con la clase de sala limpia ISO-3.

A diferencia de los sistemas tradicionales de transporte por tranvía, el sistema Linear Hoist no está ligado a raíles. El portal de techo con un eje x y y, y una unidad de descenso (eje z), permite una alta flexibilidad al acercarse a los equipos y, gracias a su montaje en el techo, ofrece una solución que ahorra espacio. Desde allí, los contenedores pueden ser transferidos a las puertas de transferencia de los equipos de producción a alta velocidad (eje x: 2 m/s, ejes y y z: 1 m/s).

En conjunto con sistemas de transporte, como el sistema de transporte en sala limpia de Schiller o sistemas OHT (Overhead Hoist Transport), es posible realizar un suministro fluido las 24 horas del día, los 7 días de la semana, sin intervención de operadores, con cargas.

La transferencia inductiva y sin contacto de energía a lo largo de los ejes x e y, así como la transmisión de datos al agarre, se realiza sin cadenas portacables mediante cables de agarre. Gracias a la alta precisión de repetición del Linear Hoist, los puertos de carga en el equipo o los pines de acoplamiento cinemático en el sistema de transporte en sala limpia de Schiller pueden ser alcanzados de manera confiable y totalmente reproducible.

Para el almacenamiento intermedio (puntos de buffer), también es posible integrar un almacén superior. De esta manera, las obleas pueden colocarse muy cerca del proceso y suministrar las estaciones de producción sin pérdida de tiempo. La cantidad de lugares de almacenamiento puede ajustarse según las dimensiones del sistema Linear Hoist, llegando a varios cientos de posiciones.