Lineáris emelő rendszer

Lineáris emelő

Lineáris emelő grafikon

A félvezetők gyártása számos gyártási lépést igényel, amelyeket ún. berendezéseken keresztül hajtanak végre. A hatékony félvezetőgyártás érdekében az egyes állomásokat időben és rugalmasan kell ellátni szilíciumszeletekkel, ezért ez egyre inkább automatizálódik. Ehhez különböző szállítórendszereket alkalmaznak a félvezetőgyárakban (gyártóüzemekben) a tárolóedényekhez, amelyekben a szilíciumszeleteket tárolják és szállítják.

A Schiller Lineáris Emelő Rendszerével biztosítható a gyártási vagy mérőberendezések automatizált ellátása a szilíciumszeletekkel az egyes gyártási zónákban (gyártási területeken) egy gyárban. A személyzet oldalán jelentkező megtakarítási lehetőségek mellett a Lineáris Emelő rendszer pozitív hatással van a csatlakoztatott berendezések kihasználtságára is. Jelentős növekedést lehet elérni a berendezések kihasználtságában a Lineáris Emelő segítségével, mivel csökkennek a várakozási idők a kazettacsere során. A rendszer különböző tárolóedény-típusokra (FOUP, FOSB, 200mm/300mm kazetták) alkalmazható, és megfelel az ISO-3 tisztatéri osztálynak.

Ellentétben a hagyományos shuttle-rendszerekkel, a Lineáris Emelő rendszer nem kötött sínhez. A mennyezeti portál, amely x- és y-tengelyen, valamint egy z-tengelyen (függőleges tengely) mozog, nagy rugalmasságot biztosít a berendezések megközelítésében, és a mennyezethez való rögzítés révén helytakarékos megoldást kínál. Innen a tárolóedények nagy sebességgel (x-tengely: 2 m/s, y- és z-tengely: 1 m/s) adhatók át a gyártási berendezések átadópontjaira.

Az ellátás zökkenőmentességét biztosítja a szállítórendszerekkel való együttműködés, például a Schiller Cleanroom Transport System vagy az OHT-rendszerek (Overhead Hoist Transport), lehetővé téve a folyamatos 24/7-es ellátást operátor beavatkozása nélkül.

Az induktív, érintés nélküli energiaátvitel az x- és y-tengely mentén, valamint az adatok továbbítása a fogóhoz érintkezés nélkül, a fogóköteleken keresztül történik. A Lineáris Emelő magas ismétlési pontosságának köszönhetően megbízhatóan és teljesen reprodukálhatóan lehet megközelíteni a berendezés Loadportjait vagy a Schiller Cleanroom Transport System Cinematic Coupling Pins csatlakozóit.

Az ideiglenes tárolás (pufferhelyek) érdekében lehetőség van egy fedett tároló integrálására is. Ezáltal a szilíciumszeletek nagyon közel helyezhetők el a folyamatokhoz, és időveszteség nélkül szállíthatók a gyártási állomásokra. A tárolóhelyek száma a Lineáris Emelő rendszer méretétől függően módosítható, és akár több száz tárolóhelyet is elérhet.