Solution d'alignement actif de haute précision pour les applications optiques et semi-conductrices

Le MP220-4 de Steinmeyer Mechatronik est une alternative compacte, économique et précise aux systèmes hexapodes – idéal pour les processus d'alignement actif dans la fabrication de semi-conducteurs et d'optique. (Image : Steinmeyer Gruppe)

Avec le MP220-4, Steinmeyer Mechatronik, une entreprise du groupe Steinmeyer, propose un système de positionnement XYZ Tip-Tilt de haute précision pour les processus d'alignement optique et actif, désormais également adapté aux charges plus lourdes. La solution combine une précision exceptionnelle, une longue durée de vie et une configuration flexible dans une forme très compacte, permettant un alignement précis et rapide des mors avec une précision submicrométrique en environnement de salle blanche. Une alternative performante et optimisée en coût par rapport aux hexapodes classiques.

Le système de positionnement Miniaturisé MP220-4 XY-Phi-Delta de Steinmeyer Mechatronik permet de réaliser de petits mouvements linéaires très précis en X et Y ainsi que des corrections rotatives autour des axes X et Y (Rx/Ry), et est spécialement conçu pour répondre aux exigences de la fabrication moderne de semi-conducteurs et d'optique. L'aligner conçu pour une utilisation industrielle 24/7 se distingue par une excellente répétabilité (± 0,5 µm linéaire, ± 0,003° rotatif), une capacité de charge élevée (jusqu'à 10 kg), une forme compacte (235 × 220 × 100 mm) ainsi qu'une grande ouverture de passage (Aperture Ø 45 mm). Il constitue une solution idéale pour les processus d'alignement actif automatisés, les mesures par transmission et également pour les mesures optiques avec un chemin optique actif.

Mouvements combinés XY, basculement et Delta

L'élément central est une cinématique à cardan sans jeu, précontrainte, montée sur une plateforme d'ouverture XY. Les quatre axes de précision à haute résolution sont équipés de vis à billes de Feinmess Suhl – également membre du groupe Steinmeyer – et déplacent la plaque de charge. La plaque de charge peut être inclinée de 4° sur deux axes, et la table d'ouverture en dessous permet une translation XY jusqu'à 20 mm, dont 10 mm réservés au déplacement purement latéral. Grâce à ses mouvements fins de basculement et XY, le système XYZ Tip-Tilt supporte des processus d'ajustement actif d'optique, de lasers et de substrats de wafers avec une précision submicrométrique. Lors de l'inspection de wafers et de DIE, l'ouverture libre permet des chemins optiques continus pour l'éclairage DUV et EUV, tandis que la stabilité mécanique garantit un alignement sécurisé en processus de fabrication multi-couches ou d'emballage, même sous charges plus lourdes.

Une solution de positionnement idéale pour des processus de haute technologie exigeants

Bien entendu, le système de positionnement miniature XY-Phi-Delta est modulable selon les applications et configurable de manière flexible. Parmi les fonctionnalités optionnelles figurent notamment une rotation supplémentaire autour de l'axe principal (plateforme rotative), des plages de déplacement XY étendues ainsi que des versions pour salle blanche (jusqu'à ISO 4, sur demande plus élevé), pour vide (jusqu'à 10E-6 mbar, sur demande plus élevé) et pour rayonnement UV/DUV. Une adaptation spécifique pour des variantes OEM avec conception CAD, prototypage et production en série est également prévue. Grâce à sa conception compacte et modulaire, le système peut être intégré directement dans des stations de production ou de test en ligne.

« Avec le MP220-4, nous proposons une alternative compacte, économique et précise, spécialement conçue pour les processus d'alignement où de faibles déplacements sont nécessaires, par rapport aux systèmes à hexapode ou aux tables empilées – idéal pour les processus d'alignement actif dans la fabrication de semi-conducteurs et d'optique », résume Elger Matthes, responsable développement et gestion de produits chez Steinmeyer Mechatronik, en soulignant les avantages.