Magas pontosságú aktív igazítási megoldás optikai és félvezető alkalmazásokhoz

A Steinmeyer Mechatronik MP220-4-je kompakt, gazdaságos és precíz alternatíva a hexapod rendszerekhez – ideális az aktív igazítási folyamatokhoz a félvezető- és optikai gyártásban. (Kép: Steinmeyer Csoport)

Az MP220-4 rendszerrel a Steinmeyer Mechatronik, a Steinmeyer-csoport egyik vállalata, egy rendkívül pontos XYZ Tip-Tilt pozícionáló rendszert kínál optikai és aktív igazítási folyamatokhoz az optika- és félvezetőgyártásban, most már nagyobb terhelésekhez is. A megoldás kiváló precizitást, hosszú élettartamot és rugalmas konfigurálhatóságot ötvöz egy rendkívül kompakt kialakításban, lehetővé téve a magas pontosságú, gyors chuck-igazítást szubmikrométeres precizitással tisztatéri környezetben. Egy erőteljes és költséghatékony alternatíva a klasszikus hexapodokkal szemben.

A Steinmeyer Mechatronik MP220-4 Miniatűr XY-Phi-Delta pozícionáló rendszer lehetővé teszi kis, rendkívül pontos lineáris mozgásokat X és Y irányban, valamint forgatókorrekciókat az X és Y tengely körül (Rx/Ry), kifejezetten a modern félvezető- és optikai gyártás igényeihez igazítva. Az ipari 24/7 folyamatos üzemre tervezett aligner kiváló ismétlési pontossággal (± 0,5 µm lineárisan, ± 0,003° forgatva), nagy teherbírással (akár 10 kg), kompakt kialakítással (235 × 220 × 100 mm), valamint nagy áteresztő képességgel (Átmérő 45 mm) rendelkezik. Ideális megoldás automatizált aktív igazítási folyamatokhoz, áteresztő méréshez, valamint optikai mérésekhez aktív optikai úttal.

Összetett XY-, Koppintó- és Delta-mozgások

A központi elem egy szabadjátékmentes, előfeszített kardán-kinematika egy XY-átfogó szinten. A négy nagy felbontású precíziós tengely gleitcsavarokkal van felszerelve a Feinmess Suhl-től – amely szintén a Steinmeyer-csoport része –, és mozgatja a terhelőlapátot. A terhelőlapát két tengely körül 4°-ban dönthető, az alatta lévő átvilágító tányér pedig akár 20 mm-es XY-állítást tesz lehetővé, ebből 10 mm a kizárólag laterális beállításra marad. Finom lépcsőzetes döntés- és XY-mozgásával az XYZ Tip-Tilt rendszer aktív beállítási folyamatokat támogat optikák, lézerek és wafer-alapú szubsztrátok esetében szubmikrométeres precizitással. A wafer- és DIE-ellenőrzés során a nyitott átfogó optikai pályák lehetővé teszik a DUV- és EUV-megvilágítás folyamatos használatát, miközben a mechanikai stabilitás még nagyobb terhelés mellett is garantálja a folyamatbiztos igazítást többrétegű vagy csomagolási alkalmazásokban.

Ideális pozícionáló megoldás igényes high-tech folyamatokhoz

Természetesen a miniatűr XY-Phi-Delta pozícionáló rendszer alkalmazás-specifikusan skálázható és rugalmasan konfigurálható. Az opcionális funkciók közé tartozik többek között egy további forgatás a főtengely körül (forgótábla), bővített XY-útvonalak, valamint tisztatéri kivitelek (ISO 4-ig, kérésre magasabb szinteken), vákuum (akár 10E-6 mbar, kérésre magasabb szinteken), és UV/DUV sugárzás. Ugyancsak elérhető egyedi fejlesztés OEM-variánsokhoz CAD-tervezéssel, prototípusgyártással és sorozatgyártással. Kompakt, moduláris kialakításának köszönhetően a rendszer közvetlenül integrálható inline gyártási vagy tesztállomásokba.

„Az MP220-4 rendszerrel egy olyan, kifejezetten a kis mozgástartományokat igénylő igazítási folyamatokra tervezett, kompakt, gazdaságos és precíz alternatívát kínálunk a hexapod rendszerek vagy egymásra helyezett asztalok helyett – ideális aktív igazítási folyamatokhoz a félvezető- és optikai gyártásban” – foglalja össze Elger Matthes, a Steinmeyer Mechatronik fejlesztési és termékmenedzsmentje, a rendszer előnyeit.