Solución de alineación activa de alta precisión para aplicaciones ópticas y de semiconductores

El MP220-4 de Steinmeyer Mechatronik es una alternativa compacta, económica y precisa a los sistemas hexapod: ideal para procesos de alineación activa en la fabricación de semiconductores y óptica. (Imagen: Steinmeyer Gruppe)

Con el MP220-4, Steinmeyer Mechatronik, una empresa del grupo Steinmeyer, ofrece un sistema de posicionamiento XYZ Tip-Tilt de alta precisión para procesos ópticos y de alineación activa en la fabricación de óptica y semiconductores, ahora también para cargas mayores. La solución combina una precisión excelente, una larga vida útil y una configuración flexible en un diseño muy compacto, permitiendo un alineamiento de alta precisión y rápido de pinzas con precisión submicrométrica en entornos de sala limpia. Una alternativa potente y rentable a los hexápodos clásicos.

El sistema de posicionamiento Miniatur-XY-Phi-Delta MP220-4 de Steinmeyer Mechatronik permite movimientos lineales pequeños y muy precisos en X y Y, así como correcciones rotativas alrededor de los ejes X e Y (Rx/Ry), y está especialmente diseñado para cumplir con los requisitos de la fabricación moderna de semiconductores y óptica. El alineador, desarrollado para uso industrial 24/7, se caracteriza por una excelente repetibilidad (± 0,5 µm lineal, ± 0,003° rotacional), una alta carga (hasta 10 kg), un diseño compacto (235 × 220 × 100 mm) y una gran apertura de paso (Apertura Ø 45 mm). Es una solución ideal para procesos automatizados de alineación activa, mediciones de paso de luz y también para mediciones ópticas con ruta óptica activa.

Movimientos combinados XY, de inclinación y Delta

El elemento central es una cinemática de cardán pre-tensada sin juego sobre una plataforma de apertura XY. Las cuatro ejes de precisión de alta resolución están equipados con tornillos de avance de husillo de precisión de Feinmess Suhl – también parte del grupo Steinmeyer – y mueven la placa de carga. La placa de carga puede inclinarse en dos ejes hasta 4°, y la mesa de paso de luz de apertura debajo realiza un desplazamiento XY de hasta 20 mm, de los cuales 10 mm se reservan para desplazamientos laterales. Gracias a su movimiento de inclinación y XY de pasos finos, el sistema XYZ Tip-Tilt soporta procesos de ajuste activo de ópticas, láseres y sustratos de obleas con precisión submicrométrica. En la inspección de obleas y chips, la apertura abierta permite caminos ópticos continuos para iluminación DUV y EUV, mientras que la estabilidad mecánica garantiza una alineación segura en procesos de múltiples capas o empaquetado, incluso con cargas mayores.

Una solución de posicionamiento ideal para procesos de alta tecnología exigentes

Por supuesto, el sistema de posicionamiento miniaturizado XY-Phi-Delta es escalable y configurable de forma flexible según la aplicación. Entre las funciones opcionales se incluyen una rotación adicional alrededor del eje principal (mesa rotatoria), recorridos extendidos en XY, versiones para sala limpia (hasta ISO 4, superior bajo petición), vacío (hasta 10E-6 mbar, superior bajo petición) y radiación UV/DUV. También está prevista la evolución personalizada para variantes OEM con diseño CAD, prototipado y producción en serie. Gracias a su construcción compacta y modular, el sistema puede integrarse directamente en estaciones de producción o prueba en línea.

“Con el MP220-4, ofrecemos una alternativa compacta, económica y precisa, diseñada específicamente para procesos de alineación en los que solo se utilizan recorridos cortos, en comparación con sistemas de hexápodos o mesas apiladas”, resume Elger Matthes, desarrollo y gestión de productos en Steinmeyer Mechatronik, destacando sus ventajas.