Hochpräzise Active-Alignment-Lösung für Optik- und Halbleiteranwendungen

De MP220-4 van Steinmeyer Mechatronik is een compacte, economische en nauwkeurige alternatief voor hexapod-systemen – ideaal voor Active-Alignment-processen in de halfgeleider- en optiekproductie. (Afbeelding: Steinmeyer Groep)

Met de MP220-4 biedt Steinmeyer Mechatronik, een bedrijf van de Steinmeyer-groep, een hoogprecies XYZ Tip-Tilt positioneringssysteem voor optische en actieve uitlijnprocessen in de optica- en halfgeleiderfabricage nu ook voor hogere belastingen. De oplossing combineert uitstekende precisie, hoge levensduur en flexibele configureerbaarheid in een zeer compacte behuizing en maakt nauwkeurig, snel uitlijnen van chucks met submicrometer precisie in cleanroomomgeving mogelijk. Een krachtige en kostenoptimale alternatieve oplossing voor klassieke hexapoden.

Het MP220-4 Miniatuur-XY-Phi-Delta positioneringssysteem van Steinmeyer Mechatronik maakt kleine, zeer nauwkeurige lineaire bewegingen in X en Y mogelijk, evenals roterende correcties om de X- en Y-as (Rx/Ry), en is speciaal afgestemd op de eisen van de moderne halfgeleider- en optica-fabricage. De voor industrieel 24/7 continu gebruik ontwikkelde aligner onderscheidt zich door een uitstekende herhaalnauwkeurigheid (± 0,5 µm lineair, ± 0,003° roterend), een hoge draagkracht (tot 10 kg), een compacte vormgeving (235 × 220 × 100 mm) en een grote doorlaat (Apertuur Ø 45 mm). Hij is een ideale oplossing voor geautomatiseerde active-alignment-processen, doorlichtmetingen en ook voor optiekmetingen met actief optisch pad.

Gecoördineerde XY-, kantel- en Delta-bewegingen

Het centrale element is een spelingvrije, voorbelaste kardan-kinematiek op een XY-apertuur-Stage. De vier hoogresolutie precisie-aslijnen zijn uitgerust met glijspindels van Feinmess Suhl – eveneens onderdeel van de Steinmeyer-groep – en bewegen de lastplaat. De lastplaat kan in twee assen tot 4° kantelen en de onderliggende doorlichttafel met aperture realiseert een XY-verstelling tot 20 mm, waarvan 10 mm voor de louter laterale verstelling overblijft. Dankzij de fijne instelbare kantel- en XY-beweging ondersteunt het XYZ Tip-Tilt-systeem actieve afstemmingsprocessen van optieken, lasers en wafersubstraten met submicrometer precisie. In wafer- en DIE-inspectie maakt de open aperture doorlopende optische paden mogelijk voor DUV- en EUV-verlichting, terwijl de mechanische stabiliteit ook bij hogere belastingen een procesveilige uitlijning in meerlaagse of verpakkingsapplicaties garandeert.

Een ideale positioneringsoplossing voor veeleisende hightech-processen

Het miniatuur-XY-Phi-Delta positioneringssysteem is uiteraard schaalbaar en flexibel configureerbaar op basis van de toepassing. Tot de optionele functies behoren onder andere een extra rotatie om de hoofdas (rotary stage), uitgebreide XY-verplaatsingswegen en uitvoeringen voor cleanroom (tot ISO 4, hoger op aanvraag), vacuüm (tot 10E-6 mbar, hoger op aanvraag) en UV/DUV-straling. Ook is maatwerk voor OEM-varianten met CAD-ontwerp, prototyping en serieproductie voorzien. Dankzij de compacte, modulaire bouw kan het systeem direct worden geïntegreerd in inline-productie- of teststations.

„Met de MP220-4 bieden wij voor pure uitlijnprocessen, waarbij slechts kleine verplaatsingswegen worden gebruikt, een daarvoor geschikte compacte, economische en nauwkeurige alternatieve oplossing voor hexapod-systemen of gestapelde tafels – ideaal voor active-alignment-processen in de halfgeleider- en optica-fabricage,” benadrukt Elger Matthes, ontwikkeling en productmanagement bij Steinmeyer Mechatronik, de voordelen.