Vysoce přesné aktivní vyrovnání řešení pro optické a polovodičové aplikace

MP220-4 od Steinmeyer Mechatronik je kompaktní, ekonomická a přesná alternativa k systémům Hexapod – ideální pro Active-Alignment procesy ve výrobě polovodičů a optiky. (Obrázek: Steinmeyer Gruppe)

Se systémem MP220-4 nabízí společnost Steinmeyer Mechatronik, podnik skupiny Steinmeyer, vysoce přesný XYZ Tip-Tilt polohovací systém pro optické a aktivní zarovnávací procesy v optické a polovodičové výrobě, nyní také pro vyšší zatížení. Toto řešení kombinuje vynikající přesnost, vysokou životnost a flexibilní konfiguraci v velmi kompaktní konstrukci a umožňuje vysoce přesné, rychlé zarovnání držáků s submikrometrovou přesností v čistém prostředí. Výkonná a nákladově optimalizovaná alternativa k tradičním hexapodům.

Systém MP220-4 Miniatur-XY-Phi-Delta od Steinmeyer Mechatronik umožňuje malé, velmi přesné lineární pohyby v ose X a Y, stejně jako rotační korekce kolem os X a Y (Rx/Ry), a je speciálně přizpůsoben požadavkům moderní polovodičové a optické výroby. Aligner navržený pro průmyslové nepřetržité 24/7 použití se vyznačuje vynikající opakovatelností (± 0,5 µm lineárně, ± 0,003° rotačně), vysokou nosností (až 10 kg), kompaktní velikostí (235 × 220 × 100 mm) a velkým průchodem (průměr otvoru 45 mm). Je ideálním řešením pro automatizované Active-Alignment procesy, měření průchodu světla a také pro optická měření s aktivní optickou cestou.

Kombinované XY, naklápěcí a Delta pohyby

Klíčovým prvkem je bez vůle předpětí kardanická kinematika na XY-aperturové stolici. Čtyři vysoké rozlišení přesné osy jsou vybaveny posuvnými šrouby od Feinmess Suhl – také součást skupiny Steinmeyer – a pohybují zatěžovací deskou. Zatěžovací deska se dá naklánět ve dvou osách o 4° a pod ní umístěný průchodový otvor pro průchod světla realizuje XY posun až do 20 mm, z čehož je 10 mm určeno pro čistě laterální posun. Díky jemnému naklánění a XY pohybu podporuje XYZ Tip-Tilt systém aktivní seřizovací procesy optik, laserů a waferových substrátů s submikrometrovou přesností. Při inspekci waferů a DIE umožňuje otevřená apertura kontinuální optické cesty pro DUV a EUV osvětlení, zatímco mechanická stabilita zajišťuje procesně bezpečné zarovnání i při vyšších zatíženích v vícevrstvých nebo balicích aplikacích.

Ideální polohovací řešení pro náročné high-tech procesy

Samozřejmě je miniatur-XY-Phi-Delta systém přizpůsobitelný podle specifických požadavků a flexibilně konfigurovatelný. Mezi volitelné funkce patří například dodatečné otáčení kolem hlavní osy (rotační stolek), rozšířené XY pohybové dráhy či varianty pro čisté prostředí (až ISO 4, vyšší na požádání), vakuum (až 10E-6 mbar, vyšší na požádání) a UV/DUV záření. Také je možné zákaznické rozšíření pro OEM varianty s CAD návrhem, prototypováním a sériovou výrobou. Díky své kompaktní, modulární konstrukci může být systém přímo integrován do inline výrobních nebo testovacích stanic.

„S systémem MP220-4 nabízíme pro čisté zarovnávací procesy, při nichž jsou využívány pouze malé pohybové dráhy, vhodnou kompaktní, ekonomickou a přesnou alternativu k systémům s hexapody nebo vrstveným stolům – ideální pro Active-Alignment procesy ve výrobě polovodičů a optiky,“ shrnuje Elger Matthes, vývoj a produktový management ve Steinmeyer Mechatronik, výhody do puntíku.