Processus sûrs, TCO minimal : air comprimé pour l'industrie des semi-conducteurs

La gamme CSG (à droite avec déshydrateur rotatif intégré i.HOC) fournit de l'air comprimé de manière fiable et efficace pour des applications sans huile. (Copyright : KAESER KOMPRESSOREN SE)

La gamme CSG (à droite avec sécheur rotatif intégré i.HOC) fournit de l'air comprimé de manière fiable et efficace pour des applications sans huile. (Copyright : KAESER KOMPRESSOREN SE)

Avec le sécheur par adsorption à régénération thermique Calosec, il est également possible de réaliser des solutions globales fiables et particulièrement économes en énergie dans des secteurs très sensibles tels que l'industrie des semi-conducteurs. (Copyright : KAESER KOMPRESSOREN SE)

SAM 4.0 : le Sigma Air Manager 4.0 (SAM 4.0) surveille et contrôle non seulement de manière extrêmement efficace tous les composants d'une station d'air comprimé, mais le rend également prêt pour l'industrie 4.0. (Copyright : KAESER KOMPRESSOREN SE)

Sécuriser la stabilité du processus et réduire durablement le coût total de possession (TCO) : cela fait partie des facteurs clés de succès dans l'industrie des semi-conducteurs. Étant donné que la fourniture continue d'air comprimé certifié classe 0 consomme des quantités importantes d'énergie, une production efficace se traduit immédiatement par une réduction visible des coûts d'exploitation. Cela concerne aussi bien la fabrication de logique de haute gamme que la production de semi-conducteurs de puissance.

Sigma Air Manager 4.0 : L'efficacité optimale

Adaptatif, efficace et connecté – le Sigma Air Manager 4.0, qui couvre plusieurs machines, permet un fonctionnement particulièrement efficient des stations d'air comprimé ou de ventilation. Le logiciel de gestion de l'énergie intégré garantit que plusieurs compresseurs, ventilateurs, sécheurs ou filtres sont utilisés de manière très économe en énergie. Grâce à la connexion de tous les composants de la station d'air comprimé via le réseau sécurisé Kaeser Sigma Network, il est possible de réaliser une surveillance globale, une gestion énergétique ainsi que des opérations de maintenance prédictive. Cela minimise les temps d'arrêt et maximise la performance de production.

Série CSG : Une performance et une efficacité nettement supérieures

Les compresseurs à vis sans huile de la série CSG portent les processus de fabrication à un nouveau niveau d'efficacité énergétique. Spécialement conçus pour répondre aux exigences sensibles de l'industrie des semi-conducteurs, ils fournissent de l'air comprimé de classe résiduelle d'huile 0 selon ISO 8573-1 – pour une sécurité maximale des produits lors de la fabrication de wafers, en lithographie ainsi qu'en manipulation pneumatique en salle blanche. Grâce à des moteurs synchrones à reluctance IE5 et au profil Sigma, les compresseurs CSG sont particulièrement économes en énergie. L'option refroidie à l'eau avec i.HOC et récupération de chaleur utilise la chaleur résiduelle deux fois – pour une rentabilité maximale et une sécurité élevée des processus.

Sécheur d'adsorption à régénération thermique Calosec

Les sécheurs d'adsorption à régénération thermique de la série Calosec se distinguent par un concept d'installation flexible, offrant la solution la plus économique pour chaque exigence. Ils constituent le composant idéal pour les réseaux d'air comprimé nécessitant des points de rosée extrêmement bas – en standard jusqu’à −40 °C, en option jusqu’à −70 °C (classe 1 selon ISO 8573-1). Pour une sécurité maximale de fonctionnement, la commande intelligente Calosec Control avec surveillance continue du système assure une fiabilité optimale. Cela permet également de réaliser des solutions globales fiables et particulièrement économes en énergie dans des secteurs sensibles comme l'industrie des semi-conducteurs.

Sécheur d'adsorption à régénération à froid i.DC

Une qualité maximale dans l'industrie des semi-conducteurs commence par un air comprimé pur et sec. Les sécheurs d'adsorption à régénération à froid de la série i.DC garantissent des points de rosée stables – en standard jusqu’à −40 °C, en option jusqu’à −70 °C (classe 1 selon ISO 8573-1) – et protègent de manière fiable les surfaces sensibles des wafers ainsi que les optiques de haute précision contre l'humidité. Parfaitement adaptés aux compresseurs Kaeser, ils assurent une haute sécurité des processus et une efficacité énergétique fiable – pour des opérations sans erreur en lithographie, lors de l'etching et dans la manipulation pneumatique des wafers.

Air comprimé sans huile de haute qualité avec adsorbeurs au charbon actif ACT

Les adsorbeurs au charbon actif de la série ACT sont des spécialistes de l'air comprimé techniquement sans huile en continu. Après séchage et pré-filtration, ils respectent de manière fiable les exigences strictes de la classe 1 selon ISO 8573-1 (teneur en huile résiduelle : ≤ 0,01 mg/m³). Cela protège de manière fiable les surfaces de wafers très sensibles, les optiques de lithographie et les environnements de salle blanche contre la contamination par la vapeur d'huile. Grâce à des quantités généreuses de charbon actif de haute qualité et à une chute de pression différentiel durablement faible, ils réduisent les coûts d'exploitation (TCO). La durée de vie du charbon actif atteint jusqu'à 12 000 heures de fonctionnement du compresseur, tandis qu’un indicateur d'huile standard signale rapidement toute anomalie opérationnelle.