Bezpieczne procesy, minimalne TCO: sprężone powietrze dla przemysłu chipowego

Seria CSG (z prawej z zintegrowanym suszarką rotacyjną i.HOC) niezawodnie i wydajnie dostarcza sprężone powietrze do zastosowań bezolejowych. (Copyright: KAESER KOMPRESSOREN SE)

Seria CSG (z prawej z zintegrowanym suszarką rotacyjną i.HOC) niezawodnie i wydajnie dostarcza sprężone powietrze do zastosowań bezolejowych. (Copyright: KAESER KOMPRESSOREN SE)

Dzięki adsorpcyjnemu osuszaczowi regenerującemu na ciepło Calosec można również w szczególnie wrażliwych branżach, takich jak przemysł półprzewodnikowy, realizować niezawodne i szczególnie energooszczędne rozwiązania kompleksowe. (Copyright: KAESER KOMPRESSOREN SE)

SAM 4.0: Sigma Air Manager 4.0 (SAM 4.0) nie tylko monitoruje i steruje w wysokiej wydajności wszystkie komponenty stacji sprężania powietrza, ale także przygotowuje je do przemysłu 4.0. (Copyright: KAESER KOMPRESSOREN SE)

Zabezpiecz stabilność procesu i trwałe obniżenie całkowitych kosztów posiadania (TCO): To kluczowe czynniki sukcesu w przemyśle półprzewodnikowym. Ponieważ ciągłe dostarczanie sprężonego powietrza klasy 0 certyfikowanego wymaga znacznych ilości energii, efektywne jego wytwarzanie od razu przekłada się na bieżące koszty operacyjne. Dotyczy to zarówno produkcji zaawansowanej logiki, jak i produkcji układów wysokoprądowych.

Sigma Air Manager 4.0: Optimum wydajności

Adaptacyjny, wydajny i sieciowy – wieloobsługowy Sigma Air Manager 4.0 umożliwia szczególnie efektywną pracę stacji sprężonego powietrza lub wentylatorów. Zintegrowane oprogramowanie do zarządzania energią zapewnia, że kilka sprężarek, wentylatorów, osuszaczy lub filtrów jest wykorzystywanych w sposób niezwykle oszczędny energetycznie. Dzięki sieciowej integracji wszystkich komponentów stacji sprężonego powietrza z Sigma Air Manager 4.0 poprzez bezpieczną sieć Kaeser Sigma Network możliwy jest zarówno kompleksowy monitoring i zarządzanie energią, jak i działania prewencyjne w zakresie konserwacji. W ten sposób minimalizowane są przestoje i maksymalizowana wydajność produkcji.

Seria CSG: Lepsza pod względem wydajności i efektywności

Bezolejowe sprężarki śrubowe serii CSG podnoszą procesy produkcyjne na nowy poziom efektywności energetycznej. Specjalnie opracowane dla wrażliwych wymagań przemysłu półprzewodnikowego, dostarczają sprężone powietrze klasy 0 według ISO 8573-1 – dla najwyższej bezpieczeństwa produktu podczas produkcji wafli, lithografii oraz pneumatycznego przenoszenia w czystym pomieszczeniu. Dzięki silnikom synchronicznym reluktancyjnym IE5 i profilowi Sigma, sprężarki CSG pracują szczególnie oszczędnie energetycznie. Opcja chłodzona wodą z i.HOC i odzyskiem ciepła wykorzystuje odpad ciepła podwójnie – dla maksymalnej opłacalności i wysokiego poziomu bezpieczeństwa procesu.

Osuszacz adsorpcyjny regenerowany ciepłem Calosec

Osuszacze adsorpcyjne regenerowane ciepłem serii Calosec wyróżniają się elastycznym koncepcją systemu, która zapewnia najbardziej opłacalne rozwiązanie dla każdego wymogu. Są idealnym elementem systemu dla sieci sprężonego powietrza, które wymagają ekstremalnie niskich punktów rosy – standardowo do −40 °C, opcjonalnie nawet do −70 °C (klasa 1 według ISO 8573-1). Aby zapewnić maksymalne bezpieczeństwo operacyjne, inteligentne sterowanie Calosec Control z pełnym monitoringiem systemu umożliwia niezawodne i szczególnie energooszczędne rozwiązania w branżach o wysokiej czułości, takich jak przemysł półprzewodnikowy.

Chłodzony regeneracyjnie osuszacz adsorpcyjny i.DC

Najwyższa jakość w przemyśle półprzewodnikowym zaczyna się od czystego i suchego sprężonego powietrza. Osuszacze adsorpcyjne regenerowane chłodem serii i.DC zapewniają stabilne punkty rosy – standardowo do −40 °C, opcjonalnie nawet do −70 °C (klasa 1 według ISO 8573-1) – i niezawodnie chronią wrażliwe powierzchnie wafli oraz precyzyjne optyki przed wilgocią. Doskonale dopasowane do sprężarek Kaeser, gwarantują wysokie bezpieczeństwo procesu i niezawodną efektywność energetyczną – dla bezbłędnych procesów lithografii, wytrawiania i pneumatycznego przenoszenia wafli.

Bezzbiornikowe sprężarki sprężonego powietrza najwyższej jakości z aktywnymi węglami aktywnymi ACT

Aktywne węgle aktywne serii ACT to specjaliści od ciągłego, technicznie bezolejowego sprężonego powietrza. Po suszeniu i wstępnym filtrowaniu skutecznie spełniają rygorystyczne wymagania klasy 1 według ISO 8573-1 (zawartość oleju resztkowego: ≤ 0,01 mg/m³). Chronią wrażliwe powierzchnie wafli, optyki lithograficzne i środowiska czystych pomieszczeń przed zanieczyszczeniem olejem. Obfite ilości wysokiej jakości węgla aktywnego i trwałe niskie ciśnienie różnicowe obniżają koszty operacyjne (TCO). Żywotność węgla aktywnego sięga do 12 000 godzin pracy sprężarki, a standardowy wskaźnik oleju sygnalizuje ewentualne zakłócenia w pracy na wczesnym etapie.