Biztonságos folyamatok, minimális TCO: Sűrített levegő a chipipar számára

A CSG-sorozat (jobbra az integrált forgó szárazítóval i.HOC) megbízhatóan és hatékonyan szállít sűrített levegőt olajmentes alkalmazásokhoz. (Szerzői jog: KAESER KOMPRESSOREN SE)

A CSG-sorozat (jobbra az integrált forgótörlővel i.HOC) megbízhatóan és hatékonyan biztosít sűrített levegőt olajmentes alkalmazásokhoz. (Szerzői jog: KAESER KOMPRESSOREN SE)

A Calosec melegregeneráló adszorpciós szárazítóval még különösen érzékeny iparágakban, például a félvezetőgyártásban is megbízható és különösen energiatakarékos teljes megoldásokat lehet megvalósítani. (Szerzői jog: KAESER KOMPRESSOREN SE)

SAM 4.0: a Sigma Air Manager 4.0 (SAM 4.0) nemcsak hatékonyan felügyeli és irányítja a nyomáslevegő-állomás összes komponensét, hanem felkészíti azokat az Ipar 4.0-ra is. (Szerzői jog: KAESER KOMPRESSOREN SE)

Prozessstabilitás biztosítása és a Total Cost of Ownership (TCO) fenntartható csökkentése: Ez tartozik a félvezetőipar központi sikertényezői közé. Mivel a folyamatosan biztosított osztály-0 tanúsítvánnyal rendelkező sűrített levegő jelentős energiaigényt köt le, a hatékony előállítás azonnal érezhetően beépül a működési költségekbe. Ez ugyanúgy vonatkozik a csúcskategóriás logikai gyártásra, mint a teljesítmény félvezetők gyártására.

Sigma Air Manager 4.0: A hatékonyság csúcsa

Adaptív, hatékony és hálózatba kötött – a gépeket átívelő Sigma Air Manager 4.0 lehetővé teszi a sűrített levegő- vagy ventilátorállomások különösen hatékony működtetését. A beépített energiairányítási szoftver gondoskodik arról, hogy több kompresszor, ventilátor, szárító vagy szűrő rendkívül energiatakarékosan legyen használatban. A sűrített levegő állomás összes komponensének hálózatba kötése a Sigma Air Manager 4.0-val a biztonságos Kaeser Sigma Network-en keresztül lehetővé teszi mind a kiterjedt megfigyelést és energiairányítást, mind az előrejelző karbantartási intézkedéseket. Ez minimalizálja a leállási időket és maximalizálja a gyártási teljesítményt.

CSG sorozat: Jobb teljesítmény és hatékonyság osztályokkal

A CSG sorozat olajmentes csavaros kompresszorai új szintre emelik a gyártási folyamatokat az energiahatékonyság terén. Kifejezetten a félvezetőipar érzékeny követelményeire fejlesztve, a kompresszor ISO 8573-1 szerint 0 osztályú maradékolaj-szintet biztosít – a legmagasabb termékbiztonság érdekében a wafer gyártásban, litográfiában és pneumatikus kezelésben a tisztatérben. Az IE5 szinkron-reluktánsmotoroknak és a Sigma Profilnak köszönhetően a CSG kompresszorok különösen energiatakarékosak. A vízhűtéses opció az i.HOC rendszerrel és a hővisszanyeréssel a hőterhelést kétszeresére növeli – maximális gazdaságosság és magas folyamatbiztonság érdekében.

Melegregeneráló Adsorpciós Szárító Calosec

A Calosec sorozat melegregeneráló adsorpciós szárítói rugalmas rendszerkoncepcióval rendelkeznek, amely minden igényre a legköltséghatékonyabb megoldást kínálja. Ideális komponensei a sűrített levegő hálózatoknak, amelyek rendkívül alacsony nyomásesési pontokat igényelnek – alapértelmezés szerint akár −40 °C-ig, opcionálisan akár −70 °C-ig (ISO 8573-1 1. osztály). A maximális működési biztonságot az intelligens Calosec Control vezérlés biztosítja, amely folyamatos rendszerfigyelést végez. Ez lehetővé teszi, hogy különösen érzékeny iparágakban, például a félvezetőgyártásban, megbízható és rendkívül energiatakarékos összes megoldásokat valósítson meg.

Hidegregeneráló Adsorpciós Szárító i.DC

A félvezetőipar legmagasabb minősége a tiszta és száraz sűrített levegővel kezdődik. Az i.DC sorozat hidegregeneráló adsorpciós szárítói stabil nyomásesési pontokat biztosítanak – alapértelmezés szerint akár −40 °C-ig, opcionálisan akár −70 °C-ig (ISO 8573-1 1. osztály), és megbízhatóan védik az érzékeny wafer felületeket és a magas precizitású optikákat a nedvesség káros hatásaitól. A Kaeser kompresszorokhoz tökéletesen illeszkedő i.DC magas folyamatbiztonságot és megbízható energiahatékonyságot garantál – hibamentes működést biztosítva litográfiában, maratásnál és pneumatikus wafer-kezelésnél.

Olajmentes sűrített levegő a legmagasabb igényekhez Aktivkohleadsorberekkel ACT

Az ACT sorozat aktivkohleadsorberei a folyamatosan technikailag olajmentes sűrített levegő szakértői. A szárítás és előszűrés után alkalmazva megbízhatóan tartják be az ISO 8573-1 1. osztályának szigorú követelményeit (maradékolaj-tartalom: ≤ 0,01 mg/m³). Ez megbízhatóan védi az érzékeny wafer felületeket, litográfiai optikákat és a tisztatéri környezeteket az olajgőz szennyeződéseitől. A magas minőségű aktivkohle mennyisége és a tartós alacsony differenciális nyomás csökkenti a működési költségeket (TCO). Az aktivkohle élettartama akár 12 000 kompresszor-működési órát is elérhet, miközben a gyárilag beépített olajindikátor időben jelzi a működési zavarokat.