Bezpečné procesy, minimální TCO: stlačený vzduch pro čipový průmysl

Řada CSG (vpravo s integrovaným rotačním sušičem i.HOC) spolehlivě a efektivně dodává stlačený vzduch pro bezmazné aplikace. (Copyright: KAESER KOMPRESSOREN SE)

Řada CSG (vpravo s integrovaným rotačním sušičem i.HOC) spolehlivě a efektivně dodává stlačený vzduch pro bezolejové aplikace. (Copyright: KAESER KOMPRESSOREN SE)

S teplom regenerujícím adsorpčním sušičem Calosec je možné v nejvíce citlivých odvětvích, jako je výroba polovodičů, realizovat spolehlivá a obzvlášť energeticky úsporná komplexní řešení. (Copyright: KAESER KOMPRESSOREN SE)

SAM 4.0: Sigma Air Manager 4.0 (SAM 4.0) nejenže efektivně monitoruje a řídí všechny komponenty kompresorové stanice, ale také je připravuje na průmysl 4.0. (Copyright: KAESER KOMPRESSOREN SE)

Zabezpečení procesní stability a udržitelný pokles celkových nákladů na vlastnictví (TCO): To patří k hlavním faktorům úspěchu v polovodičovém průmyslu. Jelikož nepřetržitá dodávka třídy 0 certifikovaného stlačeného vzduchu spotřebovává značné množství energie, efektivní výroba se okamžitě projeví na běžných provozních nákladech. To se týká jak výroby high-end logiky, tak výroby výkonových polovodičů.

Sigma Air Manager 4.0: Optimální efektivita

Adaptivní, efektivní a propojený – Sigma Air Manager 4.0, který funguje napříč stroji, umožňuje zvlášť efektivní provoz stlačeného vzduchu nebo ventilátorových stanic. Integrovaný software pro řízení energie zajišťuje, že několik kompresorů, ventilátorů, sušiček nebo filtrů je používáno velmi úsporně. Díky propojení všech komponentů stanice stlačeného vzduchu s Sigma Air Manager 4.0 přes bezpečnou síť Kaeser Sigma je možné nejen komplexní monitorování a řízení energie, ale také předvídavá údržba. To minimalizuje prostoje a maximalizuje výrobní výkon.

Řada CSG: Výkonem i účinností o třídu lepší

Bezolejové šroubové kompresory řady CSG posouvají výrobní procesy na novou úroveň energetické účinnosti. Speciálně navrženy pro citlivé požadavky polovodičového průmyslu, dodávají stlačený vzduch třídy zbytkových olejů 0 podle ISO 8573-1 – pro nejvyšší bezpečnost výroby waferů, v litografii i při pneumatickém manipulaci v čistém prostoru. Díky synchronním reluktančním motorům třídy IE5 a profilu Sigma pracují kompresory CSG obzvlášť úsporně. Vodou chlazená varianta s i.HOC a rekuperací tepla využívá odpadní teplo dvojnásobně – pro maximální ekonomiku a vysokou procesní bezpečnost.

Teplota regenerace Adsorpční sušičky Calosec

Teplota regenerace Adsorpční sušičky řady Calosec přesvědčuje flexibilním konceptem zařízení, který nabízí nejvýhodnější řešení pro každou požadovanou aplikaci. Jsou ideálním stavebním prvkem systému pro sítě stlačeného vzduchu, které vyžadují extrémně nízké body rosného bodu – standardně až −40 °C, volitelně dokonce až −70 °C (třída 1 podle ISO 8573-1). Pro maximální provozní bezpečnost zajišťuje inteligentní řízení Calosec Control s nepřetržitým systémovým monitoringem. Díky tomu lze v tak citlivých odvětvích, jako je polovodičový průmysl, realizovat spolehlivá a zvlášť energeticky úsporná celková řešení.

Kalcinačně regenerující Adsorpční sušička i.DC

Nejvyšší kvalita v polovodičovém průmyslu začíná čistým a suchým stlačeným vzduchem. Kalcinačně regenerující Adsorpční sušičky řady i.DC zajišťují stabilní body rosného bodu – standardně až −40 °C, volitelně dokonce až −70 °C (třída 1 podle ISO 8573-1) a spolehlivě chrání citlivé povrchy waferů i vysoce přesné optiky před vlhkostí. Perfektně sladěny s kompresory Kaeser, zajišťují i.DC vysokou procesní bezpečnost a spolehlivou energetickou účinnost – pro bezchybné průběhy v litografii, při leptání a při pneumatickém manipulaci waferů.

Chladně regenerující Adsorpční sušička i.DC

Nejvyšší kvalita v polovodičovém průmyslu začíná čistým a suchým stlačeným vzduchem. Chladně regenerující Adsorpční sušičky řady i.DC zajišťují stabilní body rosného bodu – standardně až −40 °C, volitelně dokonce až −70 °C (třída 1 podle ISO 8573-1) a spolehlivě chrání citlivé povrchy waferů i vysoce přesné optiky před vlhkostí. Perfektně sladěny s kompresory Kaeser, zajišťují i.DC vysokou procesní bezpečnost a spolehlivou energetickou účinnost – pro bezchybné průběhy v litografii, při leptání a při pneumatickém manipulaci waferů.

Bezolejový stlačený vzduch nejvyšší kvality s aktivními uhlíkovými adsorbery ACT

Aktivní uhlíkové adsorbéry řady ACT jsou specialisté na nepřetržitě technicky bezolejový stlačený vzduch. Po použití po sušení a předfiltraci spolehlivě splňují přísné požadavky třídy 1 podle ISO 8573-1 (zbytkový obsah oleje: ≤ 0,01 mg/m³). To chrání vysoce citlivé povrchy waferů, litografické optiky a čisté prostory před kontaminací olejovým parou. Velkorysé množství vysoce kvalitního aktivního uhlí a trvale nízký rozdílový tlak snižují provozní náklady (TCO). Životnost aktivního uhlí dosahuje až 12 000 provozních hodin kompresoru, přičemž standardní ukazatel oleje včas signalizuje případné poruchy.