Pfeiffer Vacuum présente la nouvelle turbopompe HiPace 2800 IT pour les processus d'implantation ionique

Pompe turbopropulseur Pfeiffer Vacuum HiPace 2800 IT / Pompes turbopropulseurs Pfeiffer Vacuum HiPace 2800 IT

- Grande capacité d'aspiration pour les gaz légers
- Adaptation du processus grâce à un système de gestion intelligente de la température
- Faibles coûts d'exploitation grâce à une conception fiable de la pompe hybride

Avec la HiPace 2800 IT, Pfeiffer Vacuum présente une pompe turbopompe spécialement conçue pour les processus d'implantation ionique. La conception réfléchie du rotor de la pompe turbopompe conduit à une capacité d'aspiration optimisée pour les gaz légers. Cela garantit une excellente adaptation au processus pour les implantations ioniques, où l'hydrogène est particulièrement produit. Avec une capacité d'aspiration de 2 600 l/s pour l'hydrogène, la nouvelle HiPace 2800 IT est la meilleure pompe turbopompe de sa catégorie.

Le système de gestion intelligente de la température empêche la condensation et les dépôts de processus à l'intérieur du système de pompage. Il permet un réglage individuel de la température afin de soutenir le processus de manière optimale. Le revêtement spécial du rotor garantit une résistance à tous les matériaux utilisés dans les processus d'implantation ionique. Basées sur un soi-disant roulement hybride, combinant des roulements à billes en céramique du côté pré-vide et des roulements radiaux à aimants permanents du côté ultra-vide, ces turbopompes HiPace se caractérisent par une conception de roulement particulièrement robuste. Associé au revêtement spécial du rotor, cela constitue la base d'une longue durée de vie du processus et de la fiabilité des pompes.