Pfeiffer Vacuum introduceert de nieuwe turbopomp HiPace 2800 IT voor ionenimplantatieprocessen

Pfeiffer Vacuum Turbo pomp HiPace 2800 IT / Pfeiffer Vacuum turbopompen HiPace 2800 IT

- Hoog zuigvermogen voor lichte gassen
- Procesaanpassing door intelligent temperatuurbeheersingssysteem
- Lage bedrijfskosten door betrouwbare hybride lagerconstructie

Met de HiPace 2800 IT introduceert Pfeiffer Vacuum een turbopomp die speciaal is ontworpen voor ionenimplantatieprocessen. De doordachte rotorconstructie van de turbopomp leidt tot een geoptimaliseerd zuigvermogen voor lichte gassen. Dit garandeert een zeer goede procesaanpassing voor ionenimplantatieprocessen, waarbij vooral waterstof ontstaat. Met een zuigvermogen van 2.600 l/s voor waterstof is de nieuwe HiPace 2800 IT de beste turbopomp in zijn klasse.

Het intelligente temperatuurbeheersingssysteem voorkomt procescondensatie en -afzettingen binnen het pompsysteem. Het maakt het mogelijk om de temperatuur individueel in te stellen, zodat het proces optimaal wordt ondersteund. De speciale coating van de rotor garandeert bestandheid tegen alle materialen die worden gebruikt in ionenimplantatieprocessen. Gebaseerd op een zogenaamde hybride lager, een combinatie van keramische kogellagers aan de voorvacuumzijde en permanentmagnetische radiale lagers aan de hoogvacuumzijde, onderscheiden deze HiPace-turbopompen zich door een bijzonder robuuste lageruitvoering. Samen met de speciale rotorcoating vormen deze de basis voor een lange proceslevensduur en betrouwbaarheid van de pompen.