Pfeiffer Vacuum představuje novou turbopumpu HiPace 2800 IT pro iontové implantace

Pfeiffer Vacuum Turbopumpe HiPace 2800 IT / Pfeiffer Vacuum turbopumpy HiPace 2800 IT

- Vysoká sací kapacita pro lehké plyny
- Přizpůsobení procesu pomocí inteligentního systému řízení teploty
- Nízké provozní náklady díky spolehlivému konstrukčnímu řešení hybridního ložiska

S HiPace 2800 IT představuje Pfeiffer Vacuum turbomolekulární čerpadlo, které je speciálně navrženo pro iontové implantace. Promyšlená konstrukce rotoru turbomolekulárního čerpadla vede k optimalizované sací kapacitě pro lehké plyny. To zajišťuje velmi dobré přizpůsobení procesu pro iontové implantace, při nichž vzniká zejména vodík. S sací kapacitou 2 600 l/s pro vodík je nové HiPace 2800 IT nejlepší turbomolekulární čerpadlo ve své třídě.

Inteligentní systém řízení teploty zabraňuje kondenzaci a usazování v rámci čerpacího systému. Umožňuje individuální nastavení teploty tak, aby proces byl optimálně podporován. Speciální povrchová úprava rotoru zajišťuje odolnost vůči všem materiálům používaným při iontových implantacích. Na základě tzv. hybridního ložiska, které kombinuje keramická kuličková ložiska na přední straně vakua a permanentní magnetická radiální ložiska na vysokovakuové straně, se tyto HiPace turbomolekulární čerpadla vyznačují zvlášť robustní konstrukcí ložiska. Společně se speciálním povrchem rotoru tvoří základ pro dlouhou životnost procesu a spolehlivost čerpadel.