Pfeiffer Vacuum bemutatja az új HiPace 2800 IT turbópumpát az ionimplantációs folyamatokhoz

Pfeiffer Vacuum Turbopump HiPace 2800 IT / Pfeiffer Vacuum turbópumpák HiPace 2800 IT

- Magas szívókapacitás könnyű gázokhoz
- Folyamatigazítás intelligens hőmérséklet-kezelő rendszerrel
- Alacsony üzemeltetési költségek megbízható hibrid csapágyazású kialakítással

A Pfeiffer Vacuum bemutatja a HiPace 2800 IT-t, egy turbópumpát, amelyet kifejezetten ionimplantációs folyamatokra terveztek. A turbópumpa átgondolt rotor-konstrukciója optimális szívókapacitást biztosít könnyű gázokhoz. Ez garantálja a kiváló folyamatigazítást az ionimplantációs folyamatokhoz, amelyek során különösen vízgyök keletkezik. A 2.600 l/s vízgyök szívókapacitással az új HiPace 2800 IT a legjobb turbópumpa a kategóriájában.

A intelligens hőmérséklet-kezelő rendszer megakadályozza a folyamatkondenzációt és -lerakódásokat a szivattyúrendszeren belül. Lehetővé teszi a hőmérséklet egyéni beállítását a folyamat optimális támogatására. A rotor speciális bevonata biztosítja az ellenállást minden ionimplantációs folyamatban használt anyaggal szemben. A „hibridcsapágyon” alapulva, amely egy kerámiagolyós csapágyak és állandó mágneses radiális csapágyak kombinációja a vákuum előtt és után, ezek a HiPace turbópumpák különösen robusztus csapágykialakítással rendelkeznek. A speciális rotorbevonattal együtt ez adja a hosszú folyamatélettartam és megbízhatóság alapját.