Pfeiffer Vacuum presenta la nuova turbopompa HiPace 2800 IT per i processi di impianto ionico

Pompa turboprop HiPace 2800 IT di Pfeiffer Vacuum / Pompe turboprop Pfeiffer Vacuum HiPace 2800 IT

- Elevato potere di aspirazione per gas leggeri
- Adattamento del processo tramite sistema intelligente di gestione della temperatura
- Bassi costi operativi grazie alla costruzione affidabile del supporto ibrido

Con la HiPace 2800 IT, Pfeiffer Vacuum presenta una turbopompa progettata specificamente per processi di impiantazione ionica. La progettazione accurata del rotore della turbopompa porta a una capacità di aspirazione ottimizzata per gas leggeri. Ciò garantisce un'eccellente adattabilità del processo per i processi di impiantazione ionica, in cui si genera in particolare idrogeno. Con una capacità di aspirazione di 2.600 l/s per l'idrogeno, la nuova HiPace 2800 IT è la migliore turbopompa della sua classe.

Il sistema intelligente di gestione della temperatura previene la condensazione e le deposizioni di processo all'interno del sistema di pompaggio. Permette di regolare individualmente la temperatura per supportare ottimamente il processo. La speciale rivestitura del rotore garantisce la resistenza a tutti i materiali utilizzati nei processi di impiantazione ionica. Basate su un cosiddetto supporto ibrido, una combinazione di cuscinetti in ceramica sul lato pre-vuoto e cuscinetti radiali magnetici permanenti sul lato alto vuoto, queste turbopompe HiPace si distinguono per una struttura di supporto particolarmente robusta. Insieme alla speciale rivestitura del rotore, costituiscono la base per una lunga durata del processo e l'affidabilità delle pompe.