- Traducido con IA
Pfeiffer Vacuum presenta la nueva turbobomba HiPace 2800 IT para procesos de implantación iónica
- Alta capacidad de succión para gases ligeros
- Adaptación del proceso mediante sistema inteligente de gestión de temperatura
- Bajos costos operativos gracias a un diseño confiable de cojinetes híbridos
Con la HiPace 2800 IT, Pfeiffer Vacuum presenta una turbobomba diseñada específicamente para procesos de implantación de iones. La construcción del rotor cuidadosamente diseñada de la turbobomba conduce a una capacidad de succión optimizada para gases ligeros. Esto garantiza una excelente adaptación del proceso para procesos de implantación de iones, en los que se genera principalmente hidrógeno. Con una capacidad de succión de 2.600 l/s para hidrógeno, la nueva HiPace 2800 IT es la mejor turbobomba de su clase.
El sistema inteligente de gestión de temperatura evita la condensación y los depósitos en el interior del sistema de bombeo. Permite ajustar la temperatura de forma individual para apoyar de manera óptima el proceso. La recubrimiento especial del rotor garantiza la resistencia a todos los materiales utilizados en procesos de implantación de iones. Basadas en un llamado cojinete híbrido, una combinación de rodamientos de bolas de cerámica en el lado previo al vacío y rodamientos radiales de imanes permanentes en el lado de alto vacío, estas turbobombas HiPace se caracterizan por una construcción de cojinetes particularmente robusta. Junto con el recubrimiento especial del rotor, esto forma la base para una larga vida útil del proceso y la fiabilidad de las bombas.
Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions
35614 Asslar
Alemania








