Pfeiffer Vacuum przedstawia nową turbopompę HiPace 2800 IT do procesów implantacji jonów

Pompa turbowa Pfeiffer Vacuum HiPace 2800 IT / Pompy turbowe Pfeiffer Vacuum HiPace 2800 IT

- Wysoka pojemność ssania dla lekkich gazów
- Dostosowanie procesu dzięki inteligentnemu systemowi zarządzania temperaturą
- Niskie koszty eksploatacji dzięki niezawodnej konstrukcji hybrydowych łożysk

Firma Pfeiffer Vacuum przedstawia HiPace 2800 IT, turbopompę specjalnie zaprojektowaną do procesów implantacji jonów. Przemyślana konstrukcja wirnika turbopompy prowadzi do zoptymalizowanej pojemności ssania dla lekkich gazów. Zapewnia to doskonałe dostosowanie procesu do procesów implantacji jonów, w których szczególnie powstaje wodór. Z pojemnością ssania 2600 l/s dla wodoru, nowa HiPace 2800 IT jest najlepszą turbopompą w swojej klasie.

Inteligentny system zarządzania temperaturą zapobiega kondensacji i osadzaniu się w procesie wewnątrz systemu pompowego. Umożliwia indywidualne ustawienie temperatury, aby optymalnie wspierać proces. Specjalne powłoki wirnika zapewniają odporność na wszystkie materiały używane w procesach implantacji jonów. Opierając się na tzw. hybrydowym łożysku, będącym połączeniem ceramicznych łożysk kulkowych po stronie przedwaku i magnetycznych łożysk radialnych po stronie wysokiego vacuum, te turbopompy HiPace wyróżniają się wyjątkowo wytrzymałą konstrukcją łożysk. W połączeniu z specjalną powłoką wirnika stanowią podstawę długiej trwałości procesu i niezawodności pomp.