Le test du technicum confirme : l'installation de nettoyage de BvL répond aux exigences de haute pureté de l'industrie des semi-conducteurs

Le système de nettoyage par immersion BvL Atlantic répond aux exigences les plus strictes aux niveaux 1 et 2 et trouve des applications dans l'industrie de la fourniture de semi-conducteurs, l'industrie de l'optique et la technologie de précision.

Dans le cadre de séries de tests ciblés dans le technicum de BvL Oberflächentechnik GmbH, la performance de nettoyage de l'installation de nettoyage par immersion Atlantic a été vérifiée en fonction des exigences de l'industrie des fournisseurs de semi-conducteurs. L'objectif était un nettoyage particulaire et moléculaire, au moins au niveau 2, typique des applications compatibles avec les ultra-vide.

Lors du test, des composants avec une géométrie complexe en titane et en aluminium ont été nettoyés, comprenant notamment des capillaires et des sous-écrous. L'installation Atlantic a relevé ce défi avec des résultats de processus stables, faisant d'elle une combinaison d'efficacité, de sécurité du processus et de flexibilité - parfaitement adaptée aux besoins des fournisseurs de services de nettoyage (CSP).

L'installation de nettoyage dans le technicum dispose de neuf stations de processus, dont sept bassins de nettoyage et deux bassins de séchage. Parmi les équipements utilisés, on trouve notamment des modules à ultrasons à 40 kHz et 75 kHz, un séchage à air chaud filtré HEPA H13 et sous vide, une filtration fine, une surveillance continue du pH et de la conductivité, ainsi que des cycles de nettoyage programmables. Le processus de nettoyage lui-même se déroule dans des bains de nettoyage préparés avec de l'eau VE - à la fois alcaline et acide. Les processus de rinçage qui suivent sont cruciaux pour les applications de haute pureté. Ils sont effectués avec de l'eau municipale ainsi qu'avec de l'eau ultrapure (Ultra Pure Water / UPW). L'UPW utilisé est fourni par une installation de traitement d'eau ultrapure EnviroFALK. Celle-ci est équipée de composants tels que filtration particulaire, déionisation, osmose inverse, désinfection UV, échange d'ions, nano-ultrafiltration et mesure du TOC. Avec une capacité de traitement de 300 l/h, elle permet d'obtenir des valeurs d'eau excellentes :

Conductivité : 0,06 µS/cm
TOC : 13,58 ppb

Résultats validés dans le domaine de la haute pureté

Avant et après le nettoyage, des inspections visuelles initiales sont effectuées dans la salle noire de l'entreprise. À l'aide de lumière UV et lumière vive, les composants sont examinés pour détecter particules et taches. Les résultats sont ensuite confirmés et documentés en laboratoire par PCM, attestant de la haute performance du système Atlantic :

Pureté particulaire (PMC) – Objectif : Grade 1
≥ 0,5 µm : 650 000 particules/m² (limite : 2 000 000)
≥ 5,0 µm : 17 000 particules/m² (limite : 20 000)
≥ 10,0 µm : 0 particule/m² (limite : 1 000)

Taux de dégazage lors de l’analyse des gaz résiduels (RGA) – Objectif : Grade 2
H₂O : 2,71E-4 mbar·l/s
C₆H₁₂ v : 2,53E-7 mbar·l/s
C₆H₁₂ nv : 2,80E-8 mbar·l/s

Les charges atomaires en pourcentage souhaitées sur les éléments HIO ou la contamination de surface élémentaire peuvent également être atteintes lors du processus de nettoyage.

Les résultats montrent qu'il est possible d'obtenir un nettoyage reproductible avec l'installation Atlantic pour des applications sensibles de haute pureté – un aspect central dans des domaines tels que la technologie des semi-conducteurs ou la technologie du vide.

Nouvelle procédure chez BvL

Pour des géométries de composants particulièrement exigeantes, BvL propose désormais une nouvelle méthode de nettoyage fin industriel : la technologie d’impulsions sous vide (VIT). Cette méthode innovante de changement de pression améliore spécifiquement l’échange de médias et l’effet de nettoyage en profondeur dans des structures difficilement accessibles. La VIT est utilisée en complément dans certaines applications de haute pureté – notamment là où les méthodes conventionnelles atteignent leurs limites. Cette méthode est employée dans des installations de nettoyage de paniers.

Lors du salon parts2clean du 7 au 9 octobre 2025 à Stuttgart, BvL présentera ses systèmes de nettoyage et conseillera notamment sur des solutions personnalisées pour des applications de haute pureté : Hall 10, Stand F10.