Technikumstest megerősíti: A BvL tisztítórendszere megfelel a félvezetőipar magas tisztasági követelményeinek

A BvL Atlantic merülőtisztító rendszer megfelel a legmagasabb követelményeknek az 1. és 2. fokozaton, és alkalmazzák a félvezető beszállítói iparban, optikai iparban és precíziós mérnöki területen.

Az BvL Oberflächentechnik GmbH technikumában végzett célzott tesztsorozatok keretében ellenőrizték az Atlantic merülőtisztító berendezés tisztítási teljesítményét a félvezető beszállítói ipar követelményei szempontjából. A cél egy részecske- és molekuláris tisztítás volt, legalább az ultrahigh-vákuum alkalmazásokra jellemző 2. szintű fokozaton.

A teszt során titánból és alumíniumból készült, összetett geometriájú alkatrészeket tisztítottak, amelyek többek között kapillárisokat és hátrahajló részeket tartalmaztak. Az Atlantic berendezés sikeresen vette ezt a kihívást stabil folyamateredményekkel, így hatékonyság, folyamatbiztonság és rugalmasság kombinációját nyújtja – pontosan az Clean Service Providers (CSP) igényeihez igazítva.

A technikum tisztítórendszere kilenc folyamatállomással rendelkezik, köztük hét tisztító- és két szárítómedencével. Alkalmazott eszközök többek között ultrahangmodulok 40 kHz és 75 kHz-es frekvenciával, HEPA H13 szűrővel ellátott forró levegős és vákuumos szárítás, finom szűrés, folyamatos pH- és vezetőképesség-ellenőrzés, valamint szabadon programozható tisztítási ciklusok. A tisztítási folyamat magában foglalja VE-vízzel kevert tisztítószeres medencék használatát – mind lúgos, mind savas oldatokkal. A következő öblítési folyamatok döntőek a magas tisztaságú alkalmazásoknál. Ezek városi vízzel és tiszta vízzel (Ultra Pure Water / UPW) történnek. A használt UPW-t egy EnviroFALK tiszta víz előállító rendszer biztosítja, amely részecskeszűrést, lágyítást, fordított ozmózist, UV-sterilizálást, ioncserét, nano-ultrafiltrációt és TOC-mérést tartalmaz. A rendszer 300 l/h kapacitással kiváló vízminőséget eredményez:

Vezetőképesség: 0,06 µS/cm
TOC érték: 13,58 ppb

Validált eredmények magas tisztaságú területen

A tisztítás előtt és után első vizuális vizsgálatokat végeznek a cég saját sötét szobájában. UV- és fényerősség segítségével vizsgálják az alkatrészeket részecskék és foltok után. Az eredményeket ezután laboratóriumban PCM-mel megerősítik, és dokumentálják az Atlantic rendszer magas teljesítőképességét:

Részecskementesség (PMC) – Cél: 1. fokozat
≥ 0,5 μm: 650 000 részecske/m² (határérték: 2 000 000)
≥ 5,0 μm: 17 000 részecske/m² (határérték: 20 000)
≥ 10,0 μm: 0 részecske/m² (határérték: 1 000)

Gázkibocsátási ráta a maradékgáz-analízis (RGA) során – Cél: 2. fokozat
H₂O: 2,71E-4 mbar·l/s
C₂H₆ v: 2,53E-7 mbar·l/s
C₂H₆ nv: 2,80E-8 mbar·l/s

Az elvárt atom százalékos terhelések HIO-elemek esetében, illetve az elemfelületi szennyeződések is elérhetők a tisztítási folyamat során.

A eredmények azt mutatják, hogy az Atlantic berendezéssel reprodukálható tisztítás érhető el érzékeny magas tisztaságú alkalmazásokhoz – ez egy központi szempont olyan területeken, mint a félvezető- vagy vákuumtechnika.

Új eljárás a BvL-nél

Különösen igényes alkatrészigények esetén a BvL mostantól egy új ipari finomtisztítási eljárást kínál: a vákuumos impulzus technikát (VIT). Az innovatív nyomásváltó eljárás célzottan javítja a közegcserét és a szennyeződésoldó hatást nehezen hozzáférhető szerkezetekben. A VIT kiegészítőként alkalmazható kiválasztott magas tisztaságú alkalmazásokban – különösen ott, ahol a hagyományos módszerek határaihoz érnek. Ezt az eljárást kosártisztító berendezésekben alkalmazzák.

A parts2clean kiállításon 2025. október 7-től 9-ig Stuttgartban a BvL bemutatja tisztítórendszereit, és többek között egyedi megoldásokat kínál magas tisztaságú alkalmazásokhoz: Hall 10, Stand F10.