Technikumstest bevestigt: Reinigungsanlage von BvL voldoet aan High Purity-eisen van de halfgeleiderindustrie

De BvL Atlantic onderdompelingsreinigingsinstallatie voldoet aan de hoogste eisen op Grade 1 en Grade 2 niveau en wordt toegepast in de halfgeleiderleveranciersindustrie, optiekindustrie en precisietechniek.

In het kader van gerichte testseries in het technikum van BvL Oberflächentechnik GmbH is de reinigingsprestatie van de onderdompelreinigingsinstallatie Atlantic getest op basis van de eisen van de halfgeleiderleveranciersindustrie. Het doel was een partikel- en moleculaire reiniging, minimaal op het voor ultra-hogevacuumtoepassingen typische Grade 2-niveau.

In de test werden onderdelen met complexe geometrie van titanium en aluminium gereinigd, waaronder capillairen en ondercuttings. De Atlantic-installatie heeft deze uitdaging met stabiele procesresultaten doorstaan en is daarmee een combinatie van efficiëntie, procesveiligheid en flexibiliteit - precies afgestemd op de behoeften van Clean Service Providers (CSP).

De reinigingsinstallatie in het technikum beschikt over negen processtations, waaronder zeven reinigingsbaden en twee droogbaden. Er worden onder andere ultrasoonmodules met 40 kHz en 75 kHz, HEPA H13-gefilterde warme lucht- en vacuümdroogte, fijnfiltratie, continue pH- en geleidwaardemonitoring en programmeerbare reinigingsprocessen gebruikt. Het reinigingsproces zelf vindt plaats in met VE-water aangevulde reinigingsbaden – zowel alkalisch als zuur. De daaropvolgende spoelprocessen zijn cruciaal voor high purity toepassingen. Deze worden uitgevoerd met stadswater en ultrapuur water (Ultra Pure Water / UPW). Het gebruikte UPW wordt geleverd door een EnviroFALK-zuiveringsinstallatie voor water. Deze is uitgerust met componenten zoals partikelfiltratie, ontzouting, omgekeerde osmose, UV-sterilisatie, ionenuitwisseling, nano-ultrafiltratie en TOC-metingen. Met een zuiveringscapaciteit van 300 l/h worden uitstekende waterwaarden bereikt:

Leidingweerstand: 0,06 µS/cm
TOC-waarde: 13,58 ppb

Geverifieerde resultaten in het high purity segment

Voor en na de reiniging worden eerste visuele onderzoeken uitgevoerd in de eigen Dark Room van het bedrijf. Met UV- en Bright Light worden de onderdelen op deeltjes en vlekken gecontroleerd. De resultaten worden vervolgens in het laboratorium bevestigd met PCM en documenteren de hoge prestaties van het Atlantic-systeem:

Deeltjesvrijheid (PMC) – Doel: Grade 1
≥ 0,5 µm: 650.000 deeltjes/m² (grenswaarde: 2.000.000)
≥ 5,0 µm: 17.000 deeltjes/m² (grenswaarde: 20.000)
≥ 10,0 µm: 0 deeltjes/m² (grenswaarde: 1.000)

Uitgasingsraten bij restgasanalyse (RGA) – Doel: Grade 2
H₂O: 2,71E-4 mbar·l/s
C₆H₁₂O: 2,53E-7 mbar·l/s
C₆H₁₂O nv: 2,80E-8 mbar·l/s

Ook de gewenste atomaire procentuele belastingen aan HIO-elementen en de Elemental Surface Contamination kunnen tijdens het reinigingsproces worden bereikt.

De resultaten tonen aan dat met de Atlantic-installatie een reproduceerbare reiniging voor gevoelige high purity-toepassingen mogelijk is – een kernaspect in sectoren zoals de halfgeleider- of vacuümtechniek.

Nieuw Verfahren bij BvL

Voor bijzonder veeleisende onderdelen met complexe geometrieën biedt BvL vanaf nu een nieuw proces voor industriële fijnreiniging aan: de Vacuüm Impuls Technologie (VIT). De innovatieve drukwisseltechniek verbetert gericht de media-uitwisseling en het vuilverwijderingseffect in moeilijk bereikbare structuren. VIT wordt aanvullend ingezet in geselecteerde high purity-toepassingen – vooral daar waar conventionele methoden hun grenzen bereiken. Deze techniek wordt toegepast in korbreinigingsinstallaties.

Op de beurs parts2clean van 7 tot 9 oktober 2025 in Stuttgart zal BvL haar reinigingsinstallaties presenteren en onder andere advies geven over maatwerkoplossingen voor high purity-toepassingen: Hal 10, Stand F10.