Technikumtest potvrzuje: Čisticí zařízení od BvL splňuje požadavky na vysokou čistotu v polovodičovém průmyslu

Systém ponoření pro čištění BvL Atlantic splňuje nejvyšší požadavky na úrovni třídy 1 a třídy 2 a nachází uplatnění v průmyslu dodávek polovodičů, optickém průmyslu a přesném strojírenství.

V rámci cílených testovacích řad v technickém zařízení společnosti BvL Oberflächentechnik GmbH byla ověřena čisticí schopnost ponorného čisticího zařízení Atlantic s ohledem na požadavky průmyslu dodavatelů polovodičů. Cílem bylo dosažení částicové a molekulární čistoty, minimálně na úrovni odpovídající úrovni 2, která je typická pro ultrahochvací aplikace.

V testu byly čištěny součástky s komplexní geometrií z titanu a hliníku, které mimo jiné obsahovaly kapiláry a zářezy. Zařízení Atlantic tuto výzvu zvládlo s stabilními výsledky procesu a je tak kombinací efektivity, bezpečnosti procesu a flexibility - přesně přizpůsobené potřebám poskytovatelů čištění (CSP).

Čisticí zařízení v technickém zařízení má devět procesních stanic, včetně sedmi čisticích a dvou sušicích nádrží. Používají se mimo jiné ultrazvukové moduly s frekvencí 40 kHz a 75 kHz, HEPA H13 filtrování horkého vzduchu a vakuové sušení, jemné filtrace, nepřetržité monitorování pH a vodivosti, stejně jako programovatelné čisticí cykly. Samotný čisticí proces probíhá v čisticích kolech s použitím VE-vody – jak alkalické, tak kyselé. Následující oplachové procesy jsou klíčové pro aplikace s vysokou čistotou. Provádějí se s městskou vodou a čistou vodou (Ultra Pure Water / UPW). Použitá UPW je dodávána systémem EnviroFALK pro úpravu čisté vody. Tento systém je vybaven komponenty jako filtrace částic, deionizace, reverzní osmóza, UV dezinfekce, iontová výměna, nano-ultrafiltrace a měření TOC. S kapacitou úpravy 300 l/h dosahuje vynikajících hodnot vody:

Elektrická vodivost: 0,06 µS/cm
TOC hodnota: 13,58 ppb

Ověřené výsledky v oblasti vysoké čistoty

Před a po čištění jsou prováděny první vizuální kontroly v interní temné komoře firmy. Pomocí UV a jasného světla jsou součástky kontrolovány na částice a skvrny. Výsledky jsou následně potvrzeny v laboratoři metodou PCM a dokumentují vysokou výkonost systému Atlantic:

Čistota částic (PMC) – cíl: třída 1
≥ 0,5 μm: 650 000 částic/m² (limit: 2 000 000)
≥ 5,0 μm: 17 000 částic/m² (limit: 20 000)
≥ 10,0 μm: 0 částic/m² (limit: 1 000)

Únikové rychlosti při analýze zbytkových plynů (RGA) – cíl: třída 2
H₂O: 2,71E-4 mbar·l/s
C₂H₄ v: 2,53E-7 mbar·l/s
C₂H₄ nv: 2,80E-8 mbar·l/s

Také požadované atomárně procentuální zatížení HIO prvky nebo Elementární povrchová kontaminace lze během procesu čištění dosáhnout.

Výsledky ukazují, že s zařízením Atlantic je možná reprodukovatelná čištění pro citlivé aplikace s vysokou čistotou – klíčový aspekt v oblastech, jako je polovodičový nebo vakuový průmysl.

Nový postup u BvL

Pro obzvlášť náročné geometrie součástek nabízí BvL od nynějška nový postup pro průmyslové jemné čištění: vakuovou pulzní techniku (VIT). Inovativní metoda změny tlaku zlepšuje cílenou výměnu médií a efekt odstraňování nečistot v těžko přístupných strukturách. VIT je doplňkově používána v vybraných aplikacích s vysokou čistotou – zejména tam, kde tradiční metody narážejí na své hranice. Tento postup je používán v zařízeních na čištění košů.

Na veletrhu parts2clean od 7. do 9. října 2025 v Stuttgartu představí BvL svá čisticí zařízení a poradí například o individuálních řešeních pro aplikace s vysokou čistotou: hala 10, stánek F10.